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KS-41A 液體粒子計數器從0.1μm測量SOG中的光致抗蝕劑溶液和顆粒，KS-41A 液體粒子計數器可連接多點監控系統。
| 光學系統類型 | 側散射法 |
|---|---|
| 光源 | 半導體激光器（波長830 nm，額定輸出功率200 mW） |
| 接液部件材料 | 合成石英，PFA |
| 粒度部分 | 在0.15μm至0.5μm的 運輸時間范圍內的10個步驟：0.15μm，0.2μm，0.3μm，0.5μm或更大的4個步驟 |
| 額定流量 | 10毫升/分鐘 |
| 大粒子數濃度 | 1,200細胞/ mL（計數損失在5％以內） |
| 電源 | DC12V（KE-40B1提供） |
| 大小 | 約160（H）×300（W）×250（D）mm（不包括突起） |
| 重量 | 約7.5公斤 |
| 產品規格 | KS-42A | KS-42AF | KS-42B | KS-42高爐 | KS-42C | KS-41A | KS-42D |
| 光學系統 | 光散射法 | ← | ← | ← | ← | ← | 光屏蔽方法 |
| 光軸交叉角 | 90° | ← | 70° | ← | ← | 90° | - |
| 細胞材料 | 合成石英 | 藍寶石 | 合成石英 | 藍寶石 | 合成石英 | 合成石英 | 合成石英 |
| 小可測量粒徑[mm] | 0.1 | 0.1 | 0.2 | 0.2 | 0.5 | 0.15 | 2 |
| 計數效率[％] | 70±15 | 60±15 | 70到110 | 70到110 | 70到110 | 50±10 | 100±20 |
| 大可測量顆粒濃度[數/ mL] | 1200 | ← | ← | ← | ← | ← | 4000 |
| 額定流量[mL / min] | 10 | ← | ← | ← | ← | ← | 25 |
| 功耗[VA] | 11 | 11 | 6 | 6 | 五 | 14 | 6.7 |
| 工作溫度[℃] | 15 - 35 | ← | ← | ← | ← | 15至30歲 | 5到40歲 |
| 使用濕度 | 85％或更少 | ← | 80％ | ← | ← | 85％或更少 | 90％或更少 |
| 儲存溫度[℃] | -10到50 | ← | ← | ← | ← | ← | ← |
| 儲存濕度 | 90％或更少 | ← | ← | ← | ← | ← | ← |
| 重量 | 大約4公斤 | ← | 約3.2公斤 | ← | 大約3公斤 | 約7.5公斤 | 約1.9公斤 |
| 尺寸（不包括投影）[mm] | 240（寬）x 125（長）x 151（深） | ← | ← | ← | ← | 300（寬）x 160（高）x 251（深） | 140（寬）x 125（長）x 150（深） |
| 主要應用 | 濕法，植物 | ← | ← | ← | ← | 成膜，平版印刷 | 電鍍液 |
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