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激光干涉儀工作原理

來源:深圳市中圖儀器股份有限公司   2016年07月20日 17:55  

SJ6000激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、zui高測速下分辨率高、測量范圍大等優點。通過與不同的光學組件結合,可以實現對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關軟件的配合下,還可以對數控機床進行動態性能檢測,可以進行機床振動測試與分析,滾珠絲桿的動態特性分析,驅動系統的響應特性分析,導軌的動態特性分析等,具有*的精度和效率,為機床誤差修正提供依據。

激光干涉儀工作原理如下:

激光器發射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束( 參考光束) 射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束( 測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會有一個探測器監控兩道光束之間的干涉( 見圖1) 。若光程差沒有變化時探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。若光程差有變化時,探測器會在每一次光程變化時在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。

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