智測電子-TC-Wafer晶圓溫度傳感器、熱電偶晶圓測溫系統
TC-Wafer晶圓溫度傳感器是將高精度溫度傳感器鑲嵌在晶圓表面,對晶圓表面的溫度進行實時測量。通過晶圓的測溫點了解特定位置晶圓的真實溫度,以及晶圓整體的溫度分布,同還可以監控半導體設備控溫過程中晶圓發生的溫度變化,獲得升溫、降溫以及恒溫過程期間的溫度溫度數據,從而了解半導體設備的溫度均勻度。
智測電子的高精度晶圓熱電偶溫度傳感器是半導體制造廠 Fab、PVD/CVD 部門、RTP 部門等行業用戶的***。
作為一家專業的傳感器生產廠家,智測電子不僅擁有全套傳感器生產、加工與檢測設備,還能為用戶提供定制化的解決方案。
其產品優勢在于軟件功能優異,能夠實現高精度多通道數據采集、數據統計、趨勢繪圖和數據導出等功能。智測電子生產研發的TC-Wafer晶圓溫度傳感器,其溫度范圍廣泛,智測電子的產品設計考慮到了用戶的實際需求,傳感器引線可定制,且采用了硅基膠粘劑和焊接技術,使其具有更好的性能和可靠性。
總之,智測電子的高精度溫度傳感器不僅在技術上具備優勢,而且在服務方面也能夠為用戶提供專業的解決方案。無論是在半導體裝備、航空航天、智能制造、高校實驗室、計**所、生物技術等行業,智測電子都能夠為用戶提供高品質的產品和服務,滿足用戶對高精度測溫的需求。
TC-WAFER晶圓測溫系統應用于高低溫晶圓探針臺,測量精度可達mk級別,可以多區測量晶圓特定位置的溫度真實值,也可以精準描繪晶圓整體的溫度分布情況,還可以監控半導體設備控溫過程中晶圓發生的溫度變化,了解升溫、降溫以及恒溫過程中設備的有效性。
智測電子還提供整個實驗室過程的有線溫度計量,保證溫度傳感器的長期測量精度。
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