氣體流量傳感器是一種把被測的機械量轉換為電容量改動的傳感器。它的靈敏部分便是具有可變參數的電容器。氣體流量傳感器可分為極距改動型、面積改動型、介質改動型三類。

 

    極距改動型一般用來測量微小的線位移或因為力、壓力、振蕩等引起的極距改動。面積改動型一般用于測量角位移或較大的線位移。介質改動型常用于物位測量和各種介質的溫度、密度、濕度的測定。

 

    氣體流量傳感器作業原理氣體流量傳感器的電容檢測元件是根據圓筒形電容器原理進行作業的，電容器由兩個絕緣的同軸圓柱極板內電極和外電極組成，在兩筒之間充以介電常數為e的電解質時，兩圓筒間的電容量為C=2∏eL/lnD/d,式中L為兩筒彼此重合部分的長度；D為外筒電極的直徑；d為內筒電極的直徑；e為中心介質的電介常數。在實際測量中D、d、e是根本不變的，所以氣體流量傳感器具有使用方便，結構簡略和靈敏度高級特色。

 

    氣體流量傳感器作業原理--優缺陷電容器傳感器的優點是結構簡略，價格便宜，靈敏度高，過載能力強，動態呼應特性好和對高溫、輻射、強振等惡劣條件的適應性強等。缺陷是輸出有非線性，寄生電容和分布電容對靈敏度和測量精度的影響較大，以及聯接電路較復雜等。

 

    70年代末以來，跟著集成電路技能的發展，出現了與微型測量儀表封裝在一起的氣體流量傳感器。這種新式的傳感器能使分布電容的影響大為減小，使其固有的缺陷得到戰勝。氣體流量傳感器是一種用處極廣，很有發展潛力的傳感器。