二次離子質譜(secondaryionmassspectroscopy),是一種非常靈敏的表面成份精密分析儀器,它是通過高能量的一次離子束轟擊樣品表面,使樣品表面的分析吸收能量而從表面發生濺射產生二次粒子,通過質量分析器收集、分析這些二次離子,就可以得到關于樣品表面信息的圖譜。中文名二次離子質譜外文名secondaryionmassspectroscopy別稱次級離子質譜、離子探針原理用一次離子束轟擊表面1原理用一次離子束轟擊表面,將樣品表面的原子濺射出來成為帶電的離子,然后飛行時間或者磁偏轉質譜儀分析離子的荷/質比,便可知道表面的
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