產品介紹
多功能SIMS工具：高分析效率和全自動化的基準檢測靈敏度
IMS 7f-Auto是我們獲得成功的IMS xf二次離子質譜儀（SIMS）產品系列的新型號。該儀器旨在提高高精度元素和同位素分析的易用性和生產率，已針對玻璃、金屬、陶瓷、硅基，III-V和II-VI族化合物器件、散裝物料、薄膜等一系列頗具挑戰性的應用進行改良，可充分滿足行業對高效器件開發和過程控制的要求。
用于解決多種分析問題的關鍵分析功能
IMS 7f-Auto提供了具有高深度分辨率和高動態范圍的深度剖析功能。高透射質譜儀與兩種反應性高密度離子源（O2+和Cs+）相結合，從而提供高濺射速率和極低的檢出限。的光學設計可實現直接離子顯微鏡和掃描探針成像。
提高自動化和作業效率
IMS 7f-Auto配有重新設計的同軸一次離子槍筒，可以更輕松、更快速地進行一次離子束調諧，并優化一次離子束流穩定性。新的自動化程序減少了由操作員引起的偏差并提高了易用性。帶有自動裝載/卸載樣品架的電動儲存室通過分析鏈和遠程操作提高分析效率。
在高分析效率下實現高再現性
借助新型電動儲存室和樣品轉移，IMS 7f-Auto能夠分析鏈式或遠程模式下的多個樣品。測量可以無人值守和自動化，具有高通量和可再現性。可實現很高的可再現性（RSD<0.5％）、很低的檢出限、高測試效率和高生產率（工具可每天24小時使用，幾乎無需操作員干預）。
注：對于科研類產品，請先查證核實企業經營資質和科研產品注冊證情況。
