GDMS是[1]輝光放電質(zhì)譜法(glowdischargemassspectrometry)的簡稱。是利用輝光放電源作為離子源與質(zhì)譜儀器聯(lián)接進行質(zhì)譜測定的一種分析方法。GDMS在多個學(xué)科領(lǐng)域均獲得重要應(yīng)用。在材料科學(xué)領(lǐng)域,GDMS成為反應(yīng)性和非反應(yīng)性等離子體沉積過程的控制和表征的工具。GDMS已成為無機固體材料,尤其是高純材料雜質(zhì)成分分析的強有力方法。1應(yīng)用領(lǐng)域輝光放電的主要應(yīng)用是利用其發(fā)光效應(yīng)(如霓虹燈、日光燈)以及正常輝光放電的穩(wěn)壓效應(yīng)(如氖穩(wěn)壓管)。利用輝光放電的正柱區(qū)產(chǎn)生激光的特性,制做氦氖激光器。低壓氣體放電的一
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