激光干涉測量原理+-=++=兩列振幅為A1、A2，頻率為f，初始相位分別為和的光在空間疊加時的光強為：若光的振幅相等：相位角相同時，復(fù)合光強為原先的2倍，產(chǎn)生明條紋。當相位角相差180°（半個波長）時，復(fù)合光強為0，產(chǎn)生暗條紋。

 

    激光干涉儀測量原理

 

    XL-80激光測量回路如下如果測量光路長度改變（角錐反射鏡C移動），干涉光束的相對相位將改變，由此產(chǎn)生的相長干涉和相消干涉的循環(huán)將導(dǎo)致疊加光束強度的明暗周期變化。角錐反射鏡每移動316nm，就會出現(xiàn)一個光強變化循環(huán)（明－暗－明）通過計算這些循環(huán)來測量移動。

 

    通過在這些循環(huán)之間進行相位細分，實現(xiàn)更高分辨率(1nm)的測量。①輸入光束②參考光束③測量光束④疊加光束二、激光干涉測量原理為什么要用雙頻激光干涉儀？

 

    單頻激光干涉儀是一種直流測量系統(tǒng)，存在較大的零漂；同時由于空氣湍流，機床油霧，切削屑等會使光束發(fā)生偏移或波面扭曲，導(dǎo)致激光束強度發(fā)生變化，就有可能使光電信號低于計數(shù)器的觸發(fā)電平而使計數(shù)器停止計數(shù)。雙頻激光干涉儀的信號時交流信號，因而對于雙頻激光干涉儀來說，可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對干涉信號進行放大。

 

    這樣，即使光強衰減90%，依然可以得到合適的電信號。雙頻激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內(nèi)檢定量塊，量桿，刻尺和坐標測量機等，也可以在普通車間內(nèi)為大型機床的刻度進行標定。

 

    RenishawXL-80激光干涉儀測量系統(tǒng)簡介XL-80基本線性配置XL-80激光頭XC-80補償器三角架和云臺線性測量鏡組計算機和軟件線性測量回路C(移動反射鏡)A(分光鏡)B(固定反射鏡)輸出光反射光測量光匯合光線性測量安裝方式固定錐角反射鏡與分光鏡通過安裝組件固定在主軸上移動錐角反射鏡通過安裝組件固定在移動的工作臺上調(diào)整激光頭、分光鏡、反射鏡在一條直線上為什麼需要補償？

 

    激光波長是高測量精度的基礎(chǔ)，然而激光的波長會受到空氣折射率的影響。空氣折射率又受到大氣壓、溫度和濕度的影響。

 

    激光干涉儀其中n為空氣折射率，c為激光在真空中的光速，λ為波長，f為頻率環(huán)境補償單元RenishawXC80環(huán)境補償單元的高性能可以保證在0-40度環(huán)境溫度范圍內(nèi)，和