高精度通用測量顯微鏡
? 世界自動化且精度的測量顯微鏡（小顯示分辨力0.01um）。
? 主機(jī)的前臺操作設(shè)計是基于UD（ 通用化設(shè)計）的理念。
• 世界自動化且精度的測量顯微鏡(小顯示分辨力0.01um)。高精度通用測量顯微鏡
• 主機(jī)的前臺操作設(shè)計是基于UD( 通用化設(shè)計)的理念。高精度通用測量顯微鏡
• 配備三軸電動前置控制手柄，這使傳統(tǒng)的顯微鏡操作有了全新的變化，即使在快速運(yùn)動的過程中也能進(jìn)行精細(xì)定位。
• 用戶可選擇傳統(tǒng)的顯微鏡光學(xué)管路或帶內(nèi)置激光自動對焦功能的光學(xué)管路，其觀察方法多種多樣，提高了測量工作的效率。
• 行程為250×150mm 的大工作臺可為大工件的測量提供足夠的空間。
• 使用超高精度低熱膨的玻璃光柵尺和高分辨力的讀數(shù)頭。
• 的數(shù)據(jù)處理裝置QM-Data200 和Vision Unit可結(jié)合使用，提供有效且穩(wěn)定的測量環(huán)境。
• 晶片夾持器(可用于小于8" 的晶片) 和高硬度中心支架滿足高精度測量的需求。
• 電動轉(zhuǎn)塔型擁有回縮功能，該功能在更換物鏡時啟動工作。
• 轉(zhuǎn)塔、物鏡和照明裝置為選件。
| 型號 | HyperMF-B2515B | HyperMF-UB2515B | HyperMF-UD2515B | HyperMF-UE2515B | HyperMF-UF2515B | |
| 貨號 | 176-430*1 | 176-431*1 | 176-432*1 | 176-433*1 | 176-434*1 | |
| 光路 | 有限校正光學(xué)系統(tǒng)一 | 無限校正光學(xué)系統(tǒng) BF(亮視場) | 無限校正光學(xué)系統(tǒng) BD(亮/暗視場) | 無限校正光學(xué)系統(tǒng) BF(亮視場)帶LAF功能 | 無限校正光學(xué)系統(tǒng) BF(亮/暗視場)帶LAF功能 | |
| 標(biāo)準(zhǔn)分劃板(內(nèi)置) | 90º點(diǎn)劃線十字線(線寬5μm) | |||||
| 可調(diào)瞳距 | 西登托夫型調(diào)節(jié)范圍：51-76mm | |||||
| 光路切換比 | 觀察/TV顯微攝影=50/50 | |||||
| 垂直傾斜角度 | 25º | 傾斜 | ||||
| TV端口 | 作為標(biāo)準(zhǔn)配置提供 | |||||
| 觀察圖像 | 正像 | |||||
| 目鏡 | 放大倍率 | 10X, 15X, 20X | ||||
物鏡 (可選) | 可選單筒目鏡(配有一個目鏡) 或雙筒目鏡(配有兩個目鏡) | 配備兩個10X目鏡 | ||||
| ML系列物鏡 | 1X,3X,5X,10X,20X, 50X,100X | - | ||||
| BF(亮視場) | - | M Plan Apo, M plan Apo SL, G plan Apo | ||||
| BD(亮/暗視場) | - | BD Plan Apo, BD Plan Apo SL | ||||
轉(zhuǎn)塔 (可選) | BF(亮視場) | - | (配有四孔手動傳感器/電動五孔傳感器*2) | |||
| BD(亮/暗視場) | - | (配有四孔手動傳感器/電動五孔傳感器*3) | ||||
| 聚焦部分 | 大工件高度 | 150mm | ||||
| 測量精度 | (1.5+0.01L) μm L：測量長度(mm) | |||||
| 驅(qū)動方式 | 使用控制手柄進(jìn)行電動控制 | |||||
| 照明裝置 | 透射照明裝置 | 遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)，內(nèi)置孔徑光闌，鹵素?zé)襞?12V，50W)，100級光強(qiáng)度可調(diào)，光纖冷光照明 | ||||
| 反射照明裝置 | 科勒照明，可變孔徑光闌機(jī)制，鹵素?zé)襞?12V，100W)，100級光強(qiáng)度可調(diào)，光纖冷光照明 | |||||
| 工作臺 | 測量范圍(X×Y) | 250×150mm | ||||
測量精度*4 (X和Y軸無負(fù)載) | (0.9+0.003L) μm L：測量長度(mm) | |||||
| 工作臺臺面尺寸 | 460×350mm | |||||
| 載物玻璃有效尺寸 | 300×200mm | |||||
| 旋轉(zhuǎn)角度 | ±3º | |||||
| 大承重 | 30kg | |||||
| 驅(qū)動方式 | 使用手柄進(jìn)行電動控制 | |||||
| 檢測器 | 高精度光柵尺() | |||||
| 數(shù)顯 | 分辨力 | 0.01μm | ||||
| 顯示軸 | X, Y, Z | |||||
| 數(shù)據(jù)處理裝置 | QM-DATA200或Vision Unit | |||||
| 操作部分 | 手柄急停按鈕 | 可用 | ||||
| 精細(xì)間距 | 可用 | |||||
| 數(shù)據(jù)輸出 | 可用 | |||||
| 數(shù)字顯示復(fù)位 | 可用 | |||||
| 照明光強(qiáng)度控制 | 可用 | |||||
| LAF(只對焦) | - | - | 可用 | |||
| LAF(跟蹤對焦) | - | - | 可用 | |||
| 轉(zhuǎn)塔控制 | - | 可用 (安裝電動轉(zhuǎn)塔時) | ||||
| 重量 | 顯微鏡主機(jī) | 約250kg | 約255kg | |||
| 電源裝置 | 14kg | |||||
| 電源 | 100 - 240V AC, 50/60 Hz 大功耗：700W | |||||
*1 ：為區(qū)分交流電源電纜，在貨號后加上以下后綴: A 適于 UL/CSA, D 適于 CEE, DC 適于 CCC, E 適于 BS, K 適于 KC, C 和無后綴適于PSE。
*2 ：和*3 為出廠設(shè)置。
*4 ：測量方法符合JIS B7153。
更換燈泡時，鹵素?zé)襞萦糜谕干湔彰?12V，50W) (No.02APA527) 或反射照明(12V，100W)(No.517181)。高亮度型號(12V，100W) (2BAD602) 也同樣適用。
