高精度測量顯微鏡
世界自動化且精度的測量顯微鏡（小顯示分辨力0.01um）。
? 主機的前臺操作設計是基于UD（ 通用化設計）的理念。
• 世界自動化且精度的測量顯微鏡(小顯示分辨力0.01um)。高精度測量顯微鏡
• 主機的前臺操作設計是基于UD( 通用化設計)的理念。高精度測量顯微鏡
• 配備三軸電動前置控制手柄，這使傳統的顯微鏡操作有了全新的變化，即使在快速運動的過程中也能進行精細定位。
• 用戶可選擇傳統的顯微鏡光學管路或帶內置激光自動對焦功能的光學管路，其觀察方法多種多樣，提高了測量工作的效率。
• 行程為250×150mm 的大工作臺可為大工件的測量提供足夠的空間。
• 使用超高精度低熱膨的玻璃光柵尺和高分辨力的讀數頭。
• 的數據處理裝置QM-Data200 和Vision Unit可結合使用，提供有效且穩定的測量環境。
• 晶片夾持器(可用于小于8" 的晶片) 和高硬度中心支架滿足高精度測量的需求。
• 電動轉塔型擁有回縮功能，該功能在更換物鏡時啟動工作。
• 轉塔、物鏡和照明裝置為選件。
| 型號 | HyperMF-B2515B | HyperMF-UB2515B | HyperMF-UD2515B | HyperMF-UE2515B | HyperMF-UF2515B | |
| 貨號 | 176-430*1 | 176-431*1 | 176-432*1 | 176-433*1 | 176-434*1 | |
| 光路 | 有限校正光學系統一 | 無限校正光學系統 BF(亮視場) | 無限校正光學系統 BD(亮/暗視場) | 無限校正光學系統 BF(亮視場)帶LAF功能 | 無限校正光學系統 BF(亮/暗視場)帶LAF功能 | |
| 標準分劃板(內置) | 90º點劃線十字線(線寬5μm) | |||||
| 可調瞳距 | 西登托夫型調節范圍：51-76mm | |||||
| 光路切換比 | 觀察/TV顯微攝影=50/50 | |||||
| 垂直傾斜角度 | 25º | 傾斜 | ||||
| TV端口 | 作為標準配置提供 | |||||
| 觀察圖像 | 正像 | |||||
| 目鏡 | 放大倍率 | 10X, 15X, 20X | ||||
物鏡 (可選) | 可選單筒目鏡(配有一個目鏡) 或雙筒目鏡(配有兩個目鏡) | 配備兩個10X目鏡 | ||||
| ML系列物鏡 | 1X,3X,5X,10X,20X, 50X,100X | - | ||||
| BF(亮視場) | - | M Plan Apo, M plan Apo SL, G plan Apo | ||||
| BD(亮/暗視場) | - | BD Plan Apo, BD Plan Apo SL | ||||
轉塔 (可選) | BF(亮視場) | - | (配有四孔手動傳感器/電動五孔傳感器*2) | |||
| BD(亮/暗視場) | - | (配有四孔手動傳感器/電動五孔傳感器*3) | ||||
| 聚焦部分 | 大工件高度 | 150mm | ||||
| 測量精度 | (1.5+0.01L) μm L：測量長度(mm) | |||||
| 驅動方式 | 使用控制手柄進行電動控制 | |||||
| 照明裝置 | 透射照明裝置 | 遠心光學系統，內置孔徑光闌，鹵素燈泡(12V，50W)，100級光強度可調，光纖冷光照明 | ||||
| 反射照明裝置 | 科勒照明，可變孔徑光闌機制，鹵素燈泡(12V，100W)，100級光強度可調，光纖冷光照明 | |||||
| 工作臺 | 測量范圍(X×Y) | 250×150mm | ||||
測量精度*4 (X和Y軸無負載) | (0.9+0.003L) μm L：測量長度(mm) | |||||
| 工作臺臺面尺寸 | 460×350mm | |||||
| 載物玻璃有效尺寸 | 300×200mm | |||||
| 旋轉角度 | ±3º | |||||
| 大承重 | 30kg | |||||
| 驅動方式 | 使用手柄進行電動控制 | |||||
| 檢測器 | 高精度光柵尺( | |||||
| 數顯 | 分辨力 | 0.01μm | ||||
| 顯示軸 | X, Y, Z | |||||
| 數據處理裝置 | QM-DATA200或Vision Unit | |||||
| 操作部分 | 手柄急停按鈕 | 可用 | ||||
| 精細間距 | 可用 | |||||
| 數據輸出 | 可用 | |||||
| 數字顯示復位 | 可用 | |||||
| 照明光強度控制 | 可用 | |||||
| LAF(只對焦) | - | - | 可用 | |||
| LAF(跟蹤對焦) | - | - | 可用 | |||
| 轉塔控制 | - | 可用 (安裝電動轉塔時) | ||||
| 重量 | 顯微鏡主機 | 約250kg | 約255kg | |||
| 電源裝置 | 14kg | |||||
| 電源 | 100 - 240V AC, 50/60 Hz 大功耗：700W | |||||
*1 ：為區分交流電源電纜，在貨號后加上以下后綴: A 適于 UL/CSA, D 適于 CEE, DC 適于 CCC, E 適于 BS, K 適于 KC, C 和無后綴適于PSE。
*2 ：和*3 為出廠設置。
*4 ：測量方法符合JIS B7153。
更換燈泡時，鹵素燈泡用于透射照明(12V，50W) (No.02APA527) 或反射照明(12V，100W)(No.517181)。高亮度型號(12V，100W) (2BAD602) 也同樣適用。
