什么是激光誘導(dǎo)激光光譜系統(tǒng)？

激光誘導(dǎo)擊穿光譜(LIBS)是一種原子發(fā)射光譜儀。可以對(duì)固相、液相和氣相基體中幾乎所有元素進(jìn)行定性和定量的分析。不同于傳統(tǒng)的檢測(cè)方法如ICP-OES或者XRF，LIBS在檢測(cè)過(guò)程中無(wú)需進(jìn)行復(fù)雜的樣品制備。為了達(dá)到這個(gè)目的，LIBS采用高能量聚焦脈沖激光光束將樣品激發(fā)至等離子態(tài)，對(duì)產(chǎn)生的對(duì)應(yīng)元素發(fā)射譜進(jìn)行分析。元素發(fā)射譜的波長(zhǎng)與元素的種類直接相關(guān)，而元素譜線的強(qiáng)度則和元素的含量相關(guān)。

激光誘導(dǎo)擊穿光譜技術(shù)特點(diǎn)

激光誘導(dǎo)擊穿光譜技術(shù)系統(tǒng)在進(jìn)行元素分析的時(shí)候，需要樣品量極少，對(duì)樣品的破壞性小；具有自清潔能力，幾乎不需要樣品制備；可以實(shí)現(xiàn)快速實(shí)時(shí)在線分析；具有遙測(cè)能力，可實(shí)現(xiàn)有毒、強(qiáng)輻射等惡劣環(huán)境中的遠(yuǎn)距離、非接觸性測(cè)量；具有ppm量級(jí)探測(cè)靈敏度，可對(duì)痕量元素進(jìn)行探測(cè)。

激光誘導(dǎo)擊穿光譜產(chǎn)品構(gòu)成：

多通道光譜儀MX2500+，憑借其高效的外部同步時(shí)鐘，的協(xié)同了所有通道實(shí)現(xiàn)精確的延遲采集，準(zhǔn)確的在原子激發(fā)輻射突出時(shí)采集到完整的原子譜線信號(hào)。同時(shí)，MX2500+可以應(yīng)客戶的需求在180-1100nm的范圍內(nèi)自由的配置光譜儀的通道數(shù)量和覆蓋范圍，系統(tǒng)自帶的高效時(shí)鐘可以的同步所有通道，并同時(shí)實(shí)現(xiàn)精確觸發(fā)兩臺(tái)外部設(shè)備。（如激光器或微波增強(qiáng)設(shè)備）

激光器：常使用Nd:YAG激光器，激光器的脈沖寬度一般為納秒量級(jí)，能夠在極短時(shí)間內(nèi)在極小面積上集中大量能量，作為系統(tǒng)激勵(lì)源，將樣品表面微量物質(zhì)剝離并激發(fā)出等離子體。

樣品倉(cāng)：密閉穩(wěn)定的倉(cāng)式結(jié)構(gòu)，一般會(huì)包含樣品平臺(tái)，激光聚焦和收光光路，氣體吹掃系統(tǒng)，成像系統(tǒng)，激光安全保護(hù)等配套裝置。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

· 可搭配穩(wěn)定高效的樣品倉(cāng)系統(tǒng)

· 可升級(jí)光譜模塊

· 支持雙脈沖激光器

· 寬光譜高分辨率測(cè)量，180-1100nm范圍內(nèi)多達(dá)16384個(gè)像元

· 高觸發(fā)信號(hào)精度（±10ns）

應(yīng)用方向：

· 環(huán)境監(jiān)測(cè)（土壤污染，工業(yè)生產(chǎn)）

· 材料分析（金屬，煤炭，塑料）

· 醫(yī)學(xué)和生物化學(xué)（骨骼，牙齒）

· 國(guó)家安全（爆炸，生化）

· 藝術(shù)品鑒定（顏料，陶瓷，寶石）

 等離子體發(fā)光測(cè)量：

MX2500+不僅僅可以組建激光誘導(dǎo)擊穿光譜系統(tǒng)，還可以用在各種各樣的原子光譜測(cè)量場(chǎng)合。例如電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法（ICP-OES）聯(lián)合使用，作為燃燒爐后端光譜采集設(shè)備。

寬波段、高分辨的多通道光譜儀MX2500+也是激光的測(cè)量的應(yīng)用中的一把利器。

大氣壓輝光放電過(guò)程中會(huì)生成等離子體，采用多通道光譜儀MX2500+測(cè)量等離子體，對(duì)使用大氣壓輝光放電的工作實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)過(guò)程監(jiān)測(cè)。

等離子刻蝕是半導(dǎo)體及微系統(tǒng)制造超大規(guī)模集成電路制造過(guò)程中的關(guān)鍵步驟，使用多通道光譜儀MX2500+實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)等離子體光譜，即可在刻蝕過(guò)程中精確的定位蝕刻終點(diǎn)，提升刻蝕的工藝水平。

技術(shù)參數(shù)