橢圓率計 (測量膜厚 多層膜解析 測量光彈性) M-series ▼概要日日本分光制的橢圓計配有日本分光產的PEM雙重鎖定方式和光伺服?光參考方式,實現高速性和高安定性。由于偏光素子的軸配置適合特別薄的膜和微小的偏光測量,所以主要用于向高集積化和高精細化發展的半導體及高機能光學薄膜等材料的評價。
◆規格▼M-210/220/230/240/550/ELC-300 型號 | M-210 | M-220 | M-230 | M-240 | M-550 | ELC-300 | 測量方法 | PEM雙重鎖定方式、光伺服/光參照控制方式 | 分光器 | - | 雙單色器 自動波長驅動裝置 | 雙單色器 (260~900nm) 單單色器 (900~1700nm) 自動波長 驅動裝置 | 單單色器 自動波長 驅動裝置 | 雙單色器 自動波長 驅動裝置 | 測量波長 | He-Ne激光 (632.8nm) | He-Ne激光(632.8nm) Xe光源 (260~860nm) | He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (240~700nm) | He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (26~900nm) 鹵素燈 (900~1700nm) | Xe光源 (350~800nm) | He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (260~860nm) | 入射角范圍 | 40゜~ 90゜ 連續自動設定 (0.01゜間隔) | 45゜~ 90゜ 連續自動設定 (0.01゜間隔) | 40゜~ 90゜ 連續自動設定 (0.01゜間隔) | 膜厚測量范圍 | 0~99999? | 測量時間 | 1msec以上 | 20μsec~16sec | 測量準確度* | 屈折率 ±0.01 | 膜厚 ±1? | 消衰係數 ±0.01 | *準確度是指測量時間100msec以上。另外、根據表面狀態、膜質不同準確度也不同。 | 樣品室 | 樣品垂直放 | 樣品水平放 | 樣品垂直放 | 檢測器 | 檢光子(Glan-Taylor棱鏡) 紫外可見區域:光電子倍増管 近紅外區域:InGaAs-PIN光電二極管(M-240) | |
▼軟件 主機標準 | 1.時間變化測量 2.膜厚測量 3.Δ-Ψ模擬 4.光譜測量?解析*1 5.誘電率計算*1 6.反射率計算*1 *1 M-210型號不是分光型不可使用 | 選項程序 | 1. 映射測量(自動X-θ帶映射臺) 2.多層膜解析*2 3.多入射角測量 4.靈敏度模擬*2 5.波長Cauchy光譜*3 6.橢圓率測量?解析、測量波長固定復屈折(帶異方性解析臺)*3 7.測量3次元屈折率(需要異方性解析臺)*3 8.測量光弾性定數(帶光弾性測量用透過臺)*3 *2 M-210不是分光型的不能使用 *3 M-550不能測量透過不能使用。 | |
◆規格▼M-210/220/230/240/550/ELC-300 型號 | M-210 | M-220 | M-230 | M-240 | M-550 | ELC-300 | 測量方法 | PEM雙重鎖定方式、光伺服/光參照控制方式 | 分光器 | - | 雙單色器 自動波長驅動裝置 | 雙單色器 (260~900nm) 單單色器 (900~1700nm) 自動波長 驅動裝置 | 單單色器 自動波長 驅動裝置 | 雙單色器 自動波長 驅動裝置 | 測量波長 | He-Ne激光 (632.8nm) | He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (260~860nm) | He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (240~700nm) | He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (26~900nm) 鹵素燈 (900~1700nm) | Xe光源 (350~800nm) | He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (260~860nm) | 入射 角范圍 | 40゜~ 90゜ 連續自動設定 (0.01゜間隔) | 45゜~ 90゜ 連續自動設定 (0.01゜間隔) | 40゜~ 90゜ 連續自動設定 (0.01゜間隔) | 膜厚測量范圍 | 0~99999? | 測量時間 | 1msec以上 | 20μsec~16sec | 測量準確度* | 屈折率 ±0.01 | 膜厚 ±1? | 消衰係數 ±0.01 | *準確度是指測量時間100msec以上。另外、根據表面狀態、膜質不同準確度也不同。 | 樣品室 | 樣品垂直放 | 樣品水平放 | 樣品垂直放 | 檢測器 | 檢光子(Glan-Taylor棱鏡) 紫外可見區域:光電子倍増管 近紅外區域:InGaAs-PIN光電二極管(M-240) | |
▼軟件 主機標準 | 1.時間變化測量 2.膜厚測量 3.Δ-Ψ模擬 4.光譜測量?解析*1 5.誘電率計算*1 6.反射率計算*1 *1 M-210型號不是分光型不可使用 | 選項程序 | 1. 映射測量(自動X-θ帶映射臺) 2.多層膜解析*2 3.多入射角測量 4.靈敏度模擬*2 5.波長Cauchy光譜*3 6.橢圓率測量?解析、測量波長固定復屈折(帶異方性解析臺)*3 7.測量3次元屈折率(需要異方性解析臺)*3 8.測量光弾性定數(帶光弾性測量用透過臺)*3 *2 M-210不是分光型的不能使用 *3 M-550不能測量透過不能使用。 | |