安捷倫7500系列具有自動化的易于使用、可靠性以及設計,它提供了高水平的分析性能。新的7500系列可配備二代八級桿反應池(ORS)技術,提供多種選擇的進樣附件、更好的應用與維修服務支持,它正在使得實驗室進入ICP-MS時代;
半導體工業常用材料中超痕量污染物分析:
固體:Si;GaAa單晶切片;石英、碳化硅等爐材料等
Agilent ICP-MS的高功率矩冷等離子體技術已被用于測定一系列ppt級痕量污染元素。
● 對其中一些樣品,其他方法無法得到滿意的結果,高功率矩冷等離子體技術是*一種分析方法。
● 強堿性清洗劑——四甲基氫氧化氨(TMAH)等
● 高基體樣品——光刻膠、液晶、BPSG、PSG等揮發強的清洗劑