關鍵應用:
柵極預清洗
RCA清洗
光阻去除
氧化硅腐蝕
氮化硅腐蝕
CoSix選擇性腐蝕
產品優勢:
1、占地面積小,將外部unit 集成在設備內部來減小整體的占地面積;
2、高產能,優化的Marangoni Dryer;
3、重新設計槽體流場,較好的清洗效果和均一性;
4、有機清洗,控片回收;
5、機臺將back conveyor集成在機臺的后上方,節省了空間 ;
6、機臺采用PLC和PC的結合控制方式, 系統可靠高;
7、優化機臺內部流場設計,帶來更好的articleperformance
8、破片偵測系統,防止二次傷害;