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  • (激光/EUV/X-Ray/電子/離子)束輔助化學束外延系統(tǒng) - GMMBE/MOMBE

(激光/EUV/X-Ray/電子/離子)束輔助化學束外延系統(tǒng) - GMMBE/MOMBE

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時間2022-06-02
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  • 產品數(shù)量99
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上海續(xù)波光電技術有限公司是一家專業(yè)從事高性能薄膜沉積及處理設備、光電材料、光學軟件等產品進口的技術貿易服務型公司,公司至今已與歐美、日本等國家的十余家企業(yè)建立了戰(zhàn)略合作關系;目前服務于國內從事微電子、半導體、光學、納米技術等領域的研究所和大學。主要產品包括:濺射、蒸發(fā)鍍膜儀、離子減薄儀、刻蝕機、等離子處理設備、CVD金剛石沉積設備、激光輔助化學束沉積設備,紅外窗口材料、各種功能CVD金剛石產品,光學設計、激光仿真、BSDF/BRDF測量儀、電磁場模擬仿真及測量儀器等模擬設計軟件等。

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化學束外延起源于上個世紀80年代,它結合了分子束外延(MBE)和化學氣相沉積(CVD)技術的優(yōu)點,適用于生長III-V族半導體薄膜,也可以用于Si,SixGe1-x,FeSi2薄膜沉積,以及氧化物薄膜,包括但不限于LiTaO3,超導氧化物,TiO2,Al2O3,摻鉺Al2O3,Y2O3,CdO,HfO2,LiNbO3,MgO,ErSiO,ZnO,ZrO2等
(激光/EUV/X-Ray/電子/離子)束輔助化學束外延系統(tǒng) - GMMBE/MOMBE 產品詳情

化學束外延起源于上個世紀80年代,它結合了分子束外延(MBE)和化學氣相沉積(CVD)技術的優(yōu)點,適用于生長III-V族半導體薄膜,也可以用于Si, SixGe1-x, FeSi2薄膜沉積, 以及氧化物薄膜,包括但不限于LiTaO3, 超導氧化物, TiO2, Al2O3, 摻鉺Al2O3, Y2O3, CdO, HfO2, LiNbO3, MgO, ErSiO, ZnO, ZrO2等。

 

化學束外延借用CVD(反應前驅體分子通過氣相傳輸?shù)郊訜嵋r底上)及MBE(前驅體流分子束本質——分子軌跡視線)的概念。一般說來,化學束外延的真正價值在過去并未得到承認,大多數(shù)熟悉這種技術的人都發(fā)現(xiàn)化學束外延很復雜,并且上世紀90年代化學束外延的各種優(yōu)勢的結合未被*挖掘,而這種結合卻是現(xiàn)在制造復雜設備的關鍵所在。目前,我們代理的設備是經過20年的持續(xù)不斷研發(fā),將設簡單易用、工藝優(yōu)化、所有的優(yōu)點和設施集中于一套可靠的設備中。

       實驗證明化學束外延具有顯著的優(yōu)點,例如:

•    可控多元素材料沉積及摻雜,例如GaAsInP

•    6’’襯底均勻性:無旋轉+/-1.5%,旋轉+/-0.5%                     •    沉積大面積薄膜:直徑100mm - 450mm或更大

•    前驅體轉化率高,生長速率10 nm/h至20μm/h                       •    歐盟項目支撐: 3D-DEMO, NUOTO, NANOBIUM

•    已經商業(yè)化薄膜: TiO2, Al2O3, Ta2O5, Nb2O5, HfO2            •    超高真空原位診斷技術、自組裝結構、工藝溫度很低

•    可以一步實現(xiàn)復雜形狀和(成分/厚度)梯度薄膜材料    •    無氣相反應、工藝靈活(從外延生長到高度多孔材料)

      •    (激光,EUVX-ray)光束/離子束/電子束輔助沉積, 用于3D打印、復雜材料堆棧、

          組織/晶相/成分選擇性調控、 改善外延和材料性能、降低熱應力和晶格失配

 

設備配置:

1.       熱漆外框架容納所有元件,標準RAL7035顏色;          2.       支持多達6種前驅體,專有熱源技術可達200℃;

3.       主要反應腔體采用可調熱內壁,圓柱形液氮冷阱圍繞樣品臺;可遠程控制,電腦監(jiān)控各種參數(shù);

4.       輻射加熱襯底溫度可達700℃,其他加熱器支持襯底溫度可達1400℃;

5.       真空系統(tǒng)用組合泵:250l/s分子泵+10m3/h干泵;       6.       配備全自動Load-Lock,等離子體清洗功能可選。

7.       在樣品生長過程中激光/電子/離子束輻照單元。

8.      可逆組裝:(無襯底旋轉)均勻性優(yōu)于±2%,(有襯底旋轉)均勻性優(yōu)于+/-0.5%;組合配置用以生長梯度樣品:

         厚度梯度支持1個前驅體,化學成分梯度支持2-6個。兩種方式通過程序控制切換。

關鍵詞:標準 加熱器
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