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  • 英福康Transpector XPR3L 氣體分析系統四極質譜儀

英福康Transpector XPR3L 氣體分析系統四極質譜儀

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地杭州市
  • 更新時間2022-08-17
  • 廠商性質生產廠家
  • 所在地區杭州市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量118
  • 人氣值1627
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州太昊科技有限公司,

是INFICON的*代理商,同時代理經銷德國Leybold(萊寶)、Atlas Copco(阿*.科普柯)、Varian/Agilent(瓦里安/安捷倫)、瑞士Vogtlin(福特林)等品牌產品。我們致力于*真空技術的推廣、應用,從中低真空、高真空、到超高真空,我們可以根據客戶的要求**合適的真空產品,提供*上等的真空解決方案,為廣大用戶改進生產工藝,提升競爭力提供產品服務和技術支持。同時為滿足更廣大的客戶要求,我們拓展了工業流量控制的產品服務,根據客戶的工藝要求提供*優化的流量控制解決方案。

   

目前,公司主要提供的業務有:

一、代理品牌的產品銷售,及技術支持服務。

二、為客戶提供上等的真空解決方案,包括:真空非標系統設計、真空檢漏技術方案、真空設備維修服務;

三、流量控制解決方案:氣體、液體、特殊物質流量控制方案;  

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XPR3L 提供的 PVD 過程監控解決方案可以實時提供有關過程氣體壓力、氣體比率、污染級別、雜質和泄漏情況的信息。此信息可用于大限度提高過程良率和產品質量。XPR3L 提供的本底監控解決方案可以通過快速檢測和診斷泄漏及污染,提高預防性維護程序的有效性和效率。
英福康Transpector XPR3L 氣體分析系統四極質譜儀 產品詳情

Transpector XPR3L 氣體分析系統

 

通過監測氣體壓力、檢測污染和查找泄漏,優化太陽能電池和 LCD 過程良率


用于監控過程氣體和基本真空條件的工具是 Transpector ® XPR3L 氣體分析系統提供的經濟高效的 RGA。XPR3L 提供的 PVD 過程監控解決方案可以實時提供有關過程氣體壓力、氣體比率、污染級別、雜質和泄漏情況的信息。此信息可用于大限度提高過程良率和產品質量。XPR3L 提供的本底監控解決方案可以通過快速檢測和診斷泄漏及污染,提高預防性維護程序的有效性和效率。


功能

  • 通過運行高達 10mTorr(可選 20mTorr)的 UHV,提供經濟實惠的雙用功能、過程監控和基本真空保證
  • 經濟高效的過程監控器,可用于可擴展的生產設計
  • 通過持續自動監控過程氣體壓力、氣體比率和可能存在的污染或雜質,提高過程良率,減少碎片,提高產品質量
  • 通過以高靈敏度和*小可檢分壓強驗證基本真空條件、查找泄漏以及鑒別污染,加快 PM 恢復,提高生產力
  • 可在 1 - 100 amu 質量范圍內運行,能夠檢測各種材料、污染或副產品,確保您的投資安全,降低投資風險
  • 與 FabGuard 監控和分析系統相兼容,提供可靠、*的診斷和過程控制

典型應用

  • 太陽能/光伏設備制造
  • LCD 制造
  • PVD 過程監控
  • 監控過程氣體壓力和氣體比率
  • 暴露和鑒別污染
  • 檢測和查找泄漏(空氣、氦氣、水及其他蒸汽)
  • PM 恢復/故障排除和驗證基本真空




關鍵詞:過程控制
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