杭州太昊科技有限公司，

是INFICON的*代理商，同時代理經銷德國Leybold（萊寶）、Atlas Copco（阿*.科普柯）、Varian/Agilent（瓦里安/安捷倫）、瑞士Vogtlin（福特林）等品牌產品。我們致力于*真空技術的推廣、應用，從中低真空、高真空、到超高真空，我們可以根據客戶的要求**合適的真空產品，提供*上等的真空解決方案，為廣大用戶改進生產工藝，提升競爭力提供產品服務和技術支持。同時為滿足更廣大的客戶要求，我們拓展了工業流量控制的產品服務，根據客戶的工藝要求提供*優化的流量控制解決方案。

目前，公司主要提供的業務有：

一、代理品牌的產品銷售，及技術支持服務。

二、為客戶提供上等的真空解決方案，包括：真空非標系統設計、真空檢漏技術方案、真空設備維修服務；

三、流量控制解決方案：氣體、液體、特殊物質流量控制方案；

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產品簡介在線詢價

XPR3L 提供的 PVD 過程監控解決方案可以實時提供有關過程氣體壓力、氣體比率、污染級別、雜質和泄漏情況的信息。此信息可用于大限度提高過程良率和產品質量。XPR3L 提供的本底監控解決方案可以通過快速檢測和診斷泄漏及污染，提高預防性維護程序的有效性和效率。

英福康Transpector XPR3L 氣體分析系統四極質譜儀產品詳情

Transpector XPR3L 氣體分析系統

通過監測氣體壓力、檢測污染和查找泄漏，優化太陽能電池和 LCD 過程良率

用于監控過程氣體和基本真空條件的工具是 Transpector ® XPR3L 氣體分析系統提供的經濟高效的 RGA。XPR3L 提供的 PVD 過程監控解決方案可以實時提供有關過程氣體壓力、氣體比率、污染級別、雜質和泄漏情況的信息。此信息可用于大限度提高過程良率和產品質量。XPR3L 提供的本底監控解決方案可以通過快速檢測和診斷泄漏及污染，提高預防性維護程序的有效性和效率。

功能

通過運行高達 10mTorr（可選 20mTorr）的 UHV，提供經濟實惠的雙用功能、過程監控和基本真空保證
經濟高效的過程監控器，可用于可擴展的生產設計
通過持續自動監控過程氣體壓力、氣體比率和可能存在的污染或雜質，提高過程良率，減少碎片，提高產品質量
通過以高靈敏度和*小可檢分壓強驗證基本真空條件、查找泄漏以及鑒別污染，加快 PM 恢復，提高生產力
可在 1 - 100 amu 質量范圍內運行，能夠檢測各種材料、污染或副產品，確保您的投資安全，降低投資風險
與 FabGuard 監控和分析系統相兼容，提供可靠、*的診斷和過程控制

典型應用

太陽能/光伏設備制造
LCD 制造
PVD 過程監控
監控過程氣體壓力和氣體比率
暴露和鑒別污染
檢測和查找泄漏（空氣、氦氣、水及其他蒸汽）
PM 恢復/故障排除和驗證基本真空

關鍵詞：過程控制

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