ZEM15臺(tái)式掃描電鏡主要參數(shù)指標(biāo) | |
放大倍數(shù) | 60000x 150000x |
加速電壓 | 500V - 15kV |
電子源 | 預(yù)對(duì)中鎢燈絲 |
聚光鏡 | 兩級(jí)電磁變焦聚光鏡 |
樣品臺(tái) | X-Y兩軸自動(dòng)樣品臺(tái) |
樣品臺(tái)移動(dòng)范圍 | 30mm×30mm |
標(biāo)準(zhǔn)配置 | 背散射電子探測(cè)器 |
二次電極探測(cè)器 | |
CCD光學(xué)導(dǎo)航 | |
尺寸 | 主機(jī)283×553×505 |
機(jī)械泵165×300×150 |