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熱絲輔助化學氣相沉積(HWCVD/HW-PECVD)

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  • 所在地深圳市
  • 更新時間2023-01-14
  • 廠商性質其他
  • 所在地區深圳市
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熱絲輔助化學氣相沉積(HotWireAssistedChemicalVaporDeposition,HWCVD)是指在加熱絲輔助的條件下進行薄膜化學氣相沉積,適合做高溫的結晶材料,加熱絲輔助的同時還可以利用等離子體增強線圈進一步輔助,從而提高制備出來的薄膜的晶體取向性
熱絲輔助化學氣相沉積(HWCVD/HW-PECVD) 產品詳情

熱絲輔助化學氣相沉積(Hot Wire Assisted Chemical Vapor Deposition, HWCVD)是指在加熱絲輔助的條件下進行薄膜化學氣相沉積,適合做高溫的結晶材料,加熱絲輔助的同時還可以利用等離子體增強線圈進一步輔助,從而提高制備出來的薄膜的晶體取向性。


技術參數:

1 基片尺寸可定制;
2 加熱溫度 2000℃;
3 樣品臺加熱溫度500
4 ICP等離子體增強可選;

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