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標(biāo)準(zhǔn)基板尺寸與類型
● 50 mm - 200 mm 單晶片
● 156 mm × 156 mm 太陽能硅晶片
● 3D 對象
● 粉末和顆粒
● 小批量
● 多孔、通孔和高縱橫比（高達(dá) 1：2500）
工藝溫度
● 50℃ - 500℃
標(biāo)準(zhǔn)工藝
● Al2O3、TiO2、SiO2、Ta2O5、HfO2、ZnO、ZrO2、TiN、AlN、Pt 或 Ir 等金屬
基板裝載
● 使用氣動(dòng)升降機(jī)手動(dòng)裝載
● 帶磁性機(jī)械臂的負(fù)載鎖
前驅(qū)體
● 液體、固體、氣體、臭氧
● 多達(dá) 6 個(gè)源、帶 4 個(gè)獨(dú)立入口
其他選項(xiàng)
● Picoflow™ 擴(kuò)散增強(qiáng)劑、RGA、N2 發(fā)生器、氣體洗滌器、定制設(shè)計(jì)、惰性裝載手套箱兼容性
| 產(chǎn)品名稱 | 參考價(jià) | 地區(qū) | 公司名稱 | 更新時(shí)間 | |
|---|---|---|---|---|---|
| R-200 Advance 原子層沉積系統(tǒng) | 面議 | 上海 | 上海德竹芯源科技有限公司 | 2024-08-11 | 在線詢價(jià) |
| P-300B 原子層沉積系統(tǒng) | 面議 | 上海 | 上海德竹芯源科技有限公司 | 2024-08-11 | 在線詢價(jià) |
| 等離子體增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng) | 面議 | 上海 | 上海德竹芯源科技有限公司 | 2024-08-10 | 在線詢價(jià) |
| 芬蘭Picosun原子層沉積系統(tǒng) | 面議 | 廣州市 | 廣州納儀科技有限公司 | 2024-05-12 | 在線詢價(jià) |
| 等離子體增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng) | 面議 | 上海 | 上海德竹芯源科技有限公司 | 2024-01-19 | 在線詢價(jià) |
| P-300B 原子層沉積系統(tǒng) | 面議 | 上海 | 上海德竹芯源科技有限公司 | 2024-01-17 | 在線詢價(jià) |
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