Park Systems 原子力顯微鏡NX-10
儀器簡(jiǎn)介:
測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確程度對(duì)科研工作者來(lái)說(shuō)是至關(guān)重要的。為了更好的服務(wù)于科學(xué)界，Park推出了這款zui準(zhǔn)確的NX-10型原子力顯微鏡。該儀器具備高速的伺服響應(yīng)能力，超高的掃描器線性度，極低的閉環(huán)檢測(cè)器噪聲水平，和zui小的系統(tǒng)熱漂移量。作為一款界面友好，操作簡(jiǎn)單的儀器，NX-10會(huì)成為新老用戶的好伙伴。
Park Systems 原子力顯微鏡NX-10技術(shù)參數(shù)：
掃描器
XY掃描器
柔性制導(dǎo)閉環(huán)控制單模塊掃描器
掃描范圍50μm*50μm（可選10μm*10μm ，100μm*100μm）
平面偏移度:<2nm（全量程掃描）
Z掃描器
柔性制導(dǎo)強(qiáng)力掃描器
掃描范圍15μm（可選30μm）
定位檢測(cè)噪聲：0.03nm（帶寬：1kHz）
共振頻率：>9kHz
表面成像噪聲：<0.03nm（標(biāo)準(zhǔn)值 0.02nm）
樣品臺(tái)
樣品尺寸： 50mm*50mm*20mm
樣品重量：zui大500g
樣品臺(tái)移動(dòng)范圍：20mm*20mm
主要特點(diǎn)：
一、準(zhǔn)確成像， 無(wú)交叉耦合現(xiàn)象
●業(yè)界的XYZ軸線性度，樣品和探針分別由獨(dú)立的柔性制導(dǎo)掃描器控制移動(dòng)
●zui低的平面偏移度，全程水平掃描時(shí)平面偏移量不超過(guò)1納米
●垂直掃描器全程伸縮時(shí)，線性度優(yōu)于0.015%
●優(yōu)化水平掃描器Ringing現(xiàn)象，科學(xué)的正向sine-scan算法
二、準(zhǔn)確掃描，真正的非接觸模式
●業(yè)界的垂直掃描器，帶寬超過(guò)9kHz，垂直伺服響應(yīng)速度超過(guò)62mm/s
●非接觸模式下zui快的掃描速度
●極低的探針磨損，能夠保證長(zhǎng)時(shí)間的高質(zhì)量掃描
●極低的樣品損傷
三、準(zhǔn)確測(cè)量，真正的樣品形貌
●采用業(yè)界的低噪聲檢測(cè)器測(cè)量樣品形貌
●業(yè)界的極小正反測(cè)量偏離量，小于0.15%
●采用優(yōu)化的散熱部件，極大地降低了系統(tǒng)熱票移和遲滯現(xiàn)象
●功能強(qiáng)大的*隔音罩，艙體內(nèi)部主地控溫
四、用戶工作效率
●開放式的設(shè)計(jì)，方便更換探針和樣品
●探針預(yù)定位裝夾設(shè)計(jì)，簡(jiǎn)單便鍵的測(cè)量激光調(diào)節(jié)過(guò)程，具有的自上主下
五、直視光路系統(tǒng)
●創(chuàng)新的“十秒進(jìn)針”功能，探針可自動(dòng)高速完成進(jìn)針操作
●24位數(shù)字電控箱，三組內(nèi)置鎖存放大樓，具備Q-control和彈性常數(shù)校準(zhǔn)準(zhǔn)功能
