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PlasmaPro 100 ICPCVD

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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時(shí)間2023-07-19
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)上海
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量228
  • 人氣值1413
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牛津儀器科技(上海)有限公司隸屬于英國牛津儀器集團(tuán)。牛津儀器1959年創(chuàng)建于英國牛津,是英國倫敦證交所的上市公司,為工業(yè)和科研客戶提供分析設(shè)備、半導(dǎo)體設(shè)備、超導(dǎo)磁體、超低溫設(shè)備等高科技解決方案及相關(guān)服務(wù)和支持。在六十年的發(fā)展過程中,牛津儀器公司憑借自身的科研優(yōu)勢(shì)、出色的技術(shù)管理和產(chǎn)品服務(wù)為科技發(fā)展作出了貢獻(xiàn)。目前牛津儀器現(xiàn)已成為科學(xué)儀器領(lǐng)域的跨國集團(tuán)公司,生產(chǎn)基地、銷售服務(wù)網(wǎng)絡(luò)和客戶遍及一百多個(gè)國家和地區(qū)。牛津儀器始終關(guān)注和支持著中國的發(fā)展,其產(chǎn)品于40年前就進(jìn)入了中國市場,目前在上海設(shè)有銷售、研發(fā)和全國售后服務(wù)中心 ,在北京、廣州設(shè)有辦事處,旨在為廣大中國用戶提供及時(shí)、有效的服務(wù)。為了進(jìn)一步支持中國科研的發(fā)展,2013年牛津儀器設(shè)立了“馬丁·伍德爵士中國獎(jiǎng)”,迄今共十余位物理研究領(lǐng)域的年輕科學(xué)家獲獎(jiǎng)。牛津儀器先后在中國多所院校設(shè)立了“明日之星獎(jiǎng)學(xué)金”,以鼓勵(lì)在納米科學(xué)領(lǐng)域有創(chuàng)新科研成果的優(yōu)秀碩士或博士生。
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This ICPCVD process module is designed to produce high quality films at low growth temperatures, enabled through high-density remote plasmas that achieves superior film quality with low substrate dama......
PlasmaPro 100 ICPCVD 產(chǎn)品詳情
  • 在低溫度下沉積低損傷的薄膜
  • 可沉積的典型材料包括: SiO2、Si3N4 、 SiON、Si 和 SiC,襯底溫度可低至5ºC 
  • 65mm、180mm、300mm 尺寸的ICP源 提供了工藝的均勻性
  • 晶圓尺寸高至200mm
  • 電極的溫度范圍為5ºC至400ºC
  • 已獲得ICPCVD氣體配送技術(shù)
  • 實(shí)時(shí)監(jiān)測清洗工藝, 并且可自動(dòng)停止工藝
SiO2

SiO2 deposited using TEOS and O2 by ICP CVD in ~50μm deep trench 4:1 aspect ratio

SiNx

SiNx deposited by ICP CVD at room temperature for 22nm T-gate HEMT

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