該設備主要用于手機顯示模組及有關產品的觀察及尺寸測量。將工件放于顯微鏡下,使用不同的物鏡對產品進行觀察,對需要測量的位置使用帶光柵的高精密移動平臺結合數據處理軟件進行尺寸測量,使用數字相機進行實時影像處理、觀察以及拍照,實現對產品的尺寸以及外觀檢查。
測量顯微鏡結合了金相顯微鏡的高倍觀察能力,和影像測量儀的 X、Y、Z 軸表面尺寸測量功能,具備明暗場、微分干涉、偏光等多種觀察功能。可廣泛應用于半導體、PCB、LCD、手機產業鏈、光通訊、基礎電子、模具五金、科研、汽車行業、計量行業等領域的檢測。
全套設備由以下幾部分組成:
1、工具金相顯微鏡
2、定制測量軟件
3、630萬像素USB3.0高速相機(3幀),可選12萬(2幀)和2萬像素(12.5幀)
4、外設(計算機)
技術參數
1、測量顯微鏡;
1)顯微鏡類型:工具金相顯微鏡;
2)放大倍數:放大50、100、200、500倍;可以選配1000倍
3)光源類型:5W白光LED燈;
4)視場數:22;
5)照明方式:反射光,科勒照明/透射光普通照明;
6)觀察方法:明場;
7)微分干涉:DIC微分干涉成像;(干涉片為選配)
8)物鏡轉盤:5孔明場物鏡轉盤;
9)物鏡類型:平場復消色差物鏡;
10)載物臺結構:三層機械結構高精度移動載物臺
11)測量行程:X軸300mm,Y軸200mm,Z軸200mm
2、測量軟件
1)實時影像觀察
2)實時圖像抓取
3)二維幾何尺寸測量
4)測量結果報表輸出
5)多分辨率切換
3、高精度載物臺
1)XY行程300X200mm,臺面450*350mm
2)平臺光柵顯示精度值0.5um,可以選配0.1um
3)傳動方式:手動
4、Z軸測量準確度
1)Z軸光柵顯示精度值0.5um(可以選配0.1um),測量精度在3-5um
2)傳動方式:手動