E系列是一款功能進階級探針臺,能實現1μm以上的電極Pad測試,可通過較低的成本升級更多的測試功能。
產品亮點
- 卡盤可升降調節,便于樣品快速分離探針
- 標配金相顯微鏡,達到1μm以上的Pad測試
- 可搭載激光器進行FA失效分析/激光切割
- 顯微鏡氣動式快速升降
- 便于更換顯微鏡和探針卡夾具
- POMater自適應隔震底座
- 采用德國進口隔震材料,提高測試穩定性
產品參數
型號 | E4 | E6 | E8 | E12 | |
外形(長*寬*高/mm) | 680*670*760mm | 680*670*760mm | 750*670*800mm | 1030*800*850mm | |
重量(KG) | 約90kg | 約95kg | 約110kg | 約210kg | |
電力需求 | 220VC,50~60Hz | ||||
卡盤 常溫標準 | 卡盤尺寸 | 4" | 6" | 8" | 12" |
樣品固定方式 | 環形及多孔真空吸附(可定制) | ||||
背電極測試功能 | 有,樣品臺電學獨立懸空 | ||||
卡盤材質 | 316#不銹鋼(可選黃銅鍍鎳or鍍金) | ||||
卡盤 移動平臺 | Theta行程 | 360°旋轉(粗調);可旋轉微調,微調精度0.002° | |||
卡盤升降 | 卡盤臺可以上下快速升降5mm,微調升降行程6mm,精度1μm | ||||
X-Y行程 | 100*100mm | 150*150mm | 200*200mm | 300*300mm | |
移動精度 | 10μm | ||||
卡盤快速拉出 | N/A | ||||
控制方式 | 小型旋鈕驅動 | ||||
針座平臺 | 外形尺寸 | 長550mm*寬405mm | 長720mm*寬405mm | 長980mm*寬480mm | |
卡盤到平臺距離 | 8mm(卡盤上表面與針座平臺下表面)? | ||||
針座數量 | 最多可放6個針座 | 最多可放8個針座 | 最多可放10個針座 | ||
針座平臺升降 | N/A | ||||
針座定位方式 | 磁力吸附或真空吸附 | ||||
光學特性 | 鏡頭規格 | 標配PSM-1000金相顯微鏡/可選(GX-6金相,體視,視頻)顯微鏡 | |||
放大倍數 | 20-2000X | ||||
CCD像素 | 3種CCD可選:200W(數字)/500W(數字)/650W(數字) | ||||
運動控制 | Z 軸移動行程 50.8 mm,同軸旋鈕調節,細調精度優于1μm | ||||
顯微鏡行程 | 顯微鏡2英寸XY平移臺范圍內移動 | ||||
顯微鏡移動精度 | 1μm | ||||
點針規格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm | |||
機械精度 | 10μm/2μm/0.7μm | ||||
漏電精度 | 10pA/100fA (配置屏蔽箱時) | ||||
接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/三軸接口 |
(*規格和設計如有更改,恕不另行通知。)