SEMISHARE研發的卡盤移動技術,可滿足您對整片晶圓快速測試的需求,H系列探針臺非常適合研發類實驗室的 一次性預算購置。
產品亮點:H系列手動探針臺
- 三段式可升降針座平臺
- 便于定位,快速分離樣針
- 標配金相顯微鏡,達到1μm以上的Pad測試
- 可搭載激光器進行FA失效分析/激光切割
- 氣控式卡盤移動技術,可快速拉出卡盤
產品參數:H系列手動探針臺
卡盤移動平臺(標準配置)
XY行程范圍 | 150mm*150mm/200mm*200mm/300 mm x 300 mm |
XY行程 | 300mm x 300 mm(滿足大范圍行程測試) |
移動精度/分辨率 | < 1.0 µm (~1 mm/rev) |
平面性 | ±5µm |
theta行程 | 粗調:360° |
微調精度:± 8.0° | |
分辨率:7.5 x 10-3 gradient | |
運動控制 | 氣控+大手柄控制 |
Z軸快速升降 | 快速升降:3mm |
微調升降:0-13mm,精度:≤2µm |
手動顯微鏡平臺
移動范圍 | 50 mm x 50 mm |
移動分辨率 | ≤2µm |
顯微鏡Z升降 | 25mm-100mm *取決于顯微鏡配置 |
氣動升降50mm | |
運動控制 | 獨立控制的X和Y旋鈕 |
針座平臺
材料 | 鋼鍍鎳 |
針座數量 | 8 DC and 4 RF(取于針座配置) |
卡盤到針座平臺下底面距離 | 8mm(卡盤上表面與針座平臺下表面) |
Z-height運動范圍 | Max.0-40mm (取于卡盤配置) |
針座平臺升降 | 3段:分離(300µm),卡盤裝載(2-5mm),不間斷升降(0-40mm) |
接觸重復性 | < ±1µm |
RF 針座固定 | 磁力吸附/真空吸附 |
DC 針座固定 | 磁力吸附/真空吸附 |
(*規格和設計如有更改,恕不另行通知。)