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  • CG系列 真空高低溫探針臺

CG系列 真空高低溫探針臺

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2024-03-30
  • 廠商性質代理商
  • 所在地區北京市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量1495
  • 人氣值9512
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秉承"科技無限、服務創新"的宗旨,"東方集成"將繼續通過不懈的努力,為客戶提供"更豐富的產品選擇、更經濟的解決方案、更全面的專業服務",成為中國本領域的*。

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CG系列探針臺可提供在超高真空與高低溫轉換的環境下, 實現對器件及材料表征的IV/CV特性測試、射頻測試、光電 測試、電磁輸運特性及霍爾效應等測試。 通過設置真空腔、防輻射屏等結構,能夠有效的營造一個集 成高溫、低溫、真空等測試環境,能夠為生產出來的半導體器件提供穩定的測試環境。
CG系列 真空高低溫探針臺 產品詳情

CG系列探針臺可提供在超高真空與高低溫轉換的環境下, 實現對器件及材料表征的IV/CV特性測試、射頻測試、光電 測試、電磁輸運特性及霍爾效應等測試。 通過設置真空腔、防輻射屏等結構,能夠有效的營造一個集 成高溫、低溫、真空等測試環境,能夠為生產出來的半導體器件提供穩定的測試環境。

 

產品亮點:CG系列真空高低溫探針臺

 

  • 可支持4.2K-450K溫度
  • 防輻射屏設計,提高樣品溫度均勻與準確性
  • 探針熱沉設計,保證精準落針
  • 可升級加載磁場
  • 靈活且可擴展的測試應用配置
  • 自動冷媒流量控制,自動精準控溫

 

產品參數:CG系列真空高低溫探針臺

 

型號 SCG-O-2 SCG-O-4 SCG-C-2
外形 900*900*530mm 1100*1100*530mm 1100*1100*1030mm
重量 約170KG 約190KG 約290KG
電力需求 AC220V,50~60HZ
樣品臺 尺寸 2英寸 4英寸 2英寸
樣品固定方式 真空導熱硅脂/彈簧壓片
樣品臺移動 固定的樣品臺
真空度 10^-10torr真空
光學特性 顯微鏡行程 2*2英寸 4*4英寸 2*2英寸
放大倍數 變焦:7:1分辨率4μm (放大倍數216X)或者選用金像顯微鏡(20X~1000X)
真空腔觀察窗尺寸 2inch 4inch 2inch
CCD像素 50W(模擬)/200W(數字)/500W(數字)
溫控
規格
制冷方式 液氮/液氦 制冷壓縮機
控制方式 開循環手動/自動冷媒流量控制 閉循環自動控制
控溫范圍 77K~450K 4.2K~450K
控溫分辨率 0.001K
溫度穩定性 4.2K ±0.2K 77K ±0.1K
373K ±0.08K 473K ±0.1K
823K ±0.2K(可選) 973K ±1.0K(可選)
常溫到8K冷卻時間 90min 150min
8K到常溫升溫時間 90min 90min
常溫開始的升溫時間 100℃ 150℃ 200℃
30min 50min 80min
加熱電源 LVDC 低壓直流
傳感器 硅二極管
傳感器數量 樣品臺,防輻射屏,探針臂各一個
功率 50W/100W/500W/1000W
點針規格 探針數量 2個/4個/6個
探針調節 真空波紋管外部調節,手動控制
點針精度 2微米
X-Y-Z行程 25mm-25mm-25mm
漏電精度 10pA/100fA
接口形式 三軸/SMA/K/光纖接口
可選附件 防震桌
多級壓縮制冷機
機械泵/分子泵組/離子泵
射頻部件
Chuck運動裝置
電磁鐵系統/超導磁鐵系統
1Mpa正壓系統升級
超高溫升級選件
超高真空升級選件
客戶特殊定制

(*規格和設計如有更改,恕不另行通知。)

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