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  • TS系列 低壓化學氣相沉積LPCVD

TS系列 低壓化學氣相沉積LPCVD

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  • 所在地上海
  • 更新時間2024-08-10
  • 廠商性質其他
  • 所在地區上海
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低壓化學氣相淀積(LPCVD)是在低壓條件下通過氣體混合的化學反應在硅片表面淀積一層固體膜的工藝。例如:氮化硅薄膜淀積、多晶硅薄膜淀積、非晶硅薄膜淀積、二氧化硅薄膜淀積等。
TS系列 低壓化學氣相沉積LPCVD 產品詳情

適用于氮化硅工藝 – 標準和低應力工藝

適用于摻雜、非摻雜多晶硅工藝

適用于摻雜、非摻雜 TEOS 工藝

適用于摻雜、非摻雜 LTO/ HTO

支持 6 ~ 12 寸的晶圓

有保證的工藝指標

可提供所有標準工藝和定制化工藝


主要系統特性

在一個系統中進行原位氧化和多晶沉積

提供固有和原位摻雜聚工藝

高批量負載

高達 210mm 的晶圓尺寸


客戶利益

的鈍化 iVoc > 整個負載下 730 mW

通過高系統吞吐量實現低的 CoO

在大批量生產中久經考驗的 TOPCon 生產解決方案

關鍵詞:標準
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