James DeRose 1 Georg Schlaffer1博士
1徠卡顯微系統
在過去的幾年中，實踐證明，數碼顯微鏡在微電子行業，尤其對印刷電路板 (PCB) 的檢測、質量控制和保證 (QC/QA) 以及失效分析 (FA) 等工作大有裨益。最近，隨著的發展，徠卡DVM6 三維數碼顯微鏡在檢測過程中，愈發顯現其強大功能和實用性，進一步提高了工作效率。本文闡述了一些數碼顯微鏡功能的優勢，例如，用于操作和分析的直觀軟件，快速、簡便的放大倍率切換方式，以及可靠調用參數的編碼功能。
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將印刷電路板 (PCB) 當作樣品。
| Leica DVM6 記錄的局部 PCB 樣品低放大倍率圖像。 |
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| 顯示集成電路芯片和焊點的局部 PCB 三維圖像；利用 Leica DVM6 通過 LAS X EDOF（擴展景深）功能捕捉。亦可參見右側帶彩色 Z 標尺的相同圖像。 |
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與左側帶彩色 Z 標尺相同的三維圖像。
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Leica DVM6 數碼顯微鏡令用戶能夠更簡單、更快速地記錄高品質的可靠圖像數據，實現快速分析，提高了微電子部件檢測等方面工作的效率。本報告探討了 Leica DVM6 的下述功能是如何實現更快速、更可靠的工作流程的：
Ÿ 用于顯微鏡操作和數據分析的直觀軟件；
Ÿ 高效、快速實現整個范圍內（12:1 至 2350:1）的放大倍率切換；
Ÿ 針對重要參數的編碼功能（自動追蹤和存儲），例如，載物臺、光學器件、照明、相機設置等，以便隨時快速調用；
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