【產(chǎn)品簡介】
PRB系列白光干涉三維形貌儀是采用國外的白光干涉掃描技術研制的納米量級形貌測量儀器，透過精密的掃描系統(tǒng)和自主的解析算法，進行樣品表面微細形貌的量測與分析。表面顯微成像能力與高精度測量的結合，只需數(shù)秒鐘，就能觀測到表面的三維輪廓、臺階高度、表面紋理、微觀尺寸以及包含各類參數(shù)的測量結果。
系統(tǒng)采用氣浮式隔振模塊、堅固的花崗巖和鋼結構支撐，具有出色的穩(wěn)定性。測量過程簡便而快速，只需把被測物體放置到載物臺，聚焦出干涉條紋，按下測量按鈕即可開始整個測量過程。
標準配置采用五軸手動調整載物平臺，可依據(jù)不同測試要求做彈性調整，并可選配電動載物平臺，以實現(xiàn)自動定位、自動聚焦、自動縫合之大面積高精度的量測要求，樣品均不需前處理即可進行非破壞、高精度、快速的表面形貌測量和分析。
【系統(tǒng)構成】
☆ 光學照明系統(tǒng) 采用鹵素光源、中心波長為576nm、光譜范圍340nm—780nm
☆ 光學成像系統(tǒng) 采用無限遠光學成像系統(tǒng)、由顯微物鏡和成像目鏡組成
☆ 垂直掃描系統(tǒng) 采用閉環(huán)反饋控制方式驅動顯微物鏡垂直移動、移動范圍100-1000μm、位置移動精度 0.1nm
☆ 信號處理系統(tǒng) 計算機和數(shù)字信號協(xié)處理器組成、采集系列原始圖像數(shù)據(jù)使用專用數(shù)字信號協(xié)處理器完成數(shù)據(jù)解析
【工作原理】
白光干涉三維形貌儀是利用光學干涉原理研制開發(fā)的超精密表面輪廓測量儀器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測樣品的相對高度。
【技術特點】
白光干涉三維形貌儀是利用光學干涉原理研制開發(fā)的超精密表面輪廓測量儀器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測樣品的相對高度。
【使用特點】
? 非接觸、高穩(wěn)定性、高速度測量
? 高精度測量 結果可作為計量標準 垂直解析度可達0.1nm、水平解析度可達0.1um
? 大面積測量 自動縫合技術實現(xiàn)大面積高精度測量
? 功能強大 使用便捷的測量分析軟件 PRVision應用軟件可提供多項測量參數(shù)
? 適用范圍廣泛 可以測量多種類型樣品的表面微細結構
? 真正意義的免維護及優(yōu)良的性能價格比
【性能參數(shù)表】
【光學規(guī)格表】
【應用領域】
在眾多高科技研發(fā)及產(chǎn)業(yè)中，諸如半導體、微機電、平面顯示器、電子封裝及光學加工等，由于微結構表面輪廓的準確性決定產(chǎn)品的功能和效能，在其制成過程中皆需針對微結構的表面輪廓品質進行檢測，PR系列產(chǎn)品提供多種表面參數(shù)量測功能如斷差高度、線寬、面積、體積、粗糙度、薄膜厚度及平整度等以滿足業(yè)界及研究部門之需求。無論是拋光表面還是粗糙表面，只要反光率超過1%，就能被檢測出來。
半導體硅片及器件
MEMS裝置表面
平面液晶顯示器
薄膜厚度
金屬摩擦學學
陶瓷基板表面
光學器件表面
其他材料分析及微表面研究
【測量實例】
【功能介紹】
1、硬件控制、二維載物平臺自動控制、光學系統(tǒng)自動聚焦、干涉信號處理
2、測量結果顯示及各種方式處理
3、二維平面和三維立體顯示
任意放大或縮小顯示圖像
調平和多角度自由旋轉
4、粗糙度測量及結果顯示
包括評價區(qū)域位置信息和多種粗糙度評價參數(shù)
5、線寬測量及結果顯示
采用亞像素插值處理技術，線寬測量精度可達0.1um
表格形式顯示各種線寬結果
根據(jù)事先確定的評判基準，實現(xiàn)線寬自動評判功能
6、多幅相鄰區(qū)域測量結果自動縫合
【顯示界面】
【設定界面】
