高分辨率，精確成像
憑借對各種類型樣品進行精確3D測量的能力，系統可提供用于質量保證和工藝控制的可靠數據。
的橫向分辨率
| | 405納米紫色激光和專用高數值孔徑物鏡可以捕捉到傳統光學顯微鏡、白光干涉儀或紅色激光顯微鏡難以發現的精細紋理和缺陷。 | |
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| 紅光型（658納米：0.26微米空間) | 微米紫光型（405納米：0.12線和空間) | |
一致的測量值
LEXT專用物鏡可精確測量采用其他方式測量會發生畸變的周邊區域。
傳統物鏡
LEXT物鏡
新開發的MEMS掃描振鏡
新的MEMS掃描振鏡具有較低的掃描軌跡失真和較小的光學像差，可進行精確的X-Y掃描。
4K掃描技術
4K掃描技術可在X軸方向掃描4096像素，是奧林巴斯以前顯微鏡型號的四倍。
OLS5000顯微鏡可在無需進行圖像校正的情況下檢測幾乎垂直的陡峭斜面以及極低的臺階。
捕獲真實形貌
由于傳統激光顯微鏡采用諸如平滑消除噪聲等標準圖像處理技術，其有時會將精確測得的細微高度不規則測量數據連同噪聲一起消除。
OLS5100顯微鏡采用奧林巴斯自動檢測可靠數據的智能判別算法，可在不丟失細微高度不規則測量數據的情況下實現精確測量。
其他高分辨率測量技術
- MEMS掃描PEAK算法
- 雙共焦系統
- Sq噪聲（測量噪聲）保證
- 準確性和重復性均可保證
- 混合匹配算法
- 混合阻尼機構
- HDR掃描
