我們知道在可燃性硫及硫化合物在燃燒時，主要是生成SO2，只有1%--5%氧化成SO3。其主要化學反應如下：
如單體硫燃燒：S＋O2= SO2
SO2＋ O2= SO3
雖然SO2在潔凈干燥的大氣中氧化成SO3的過程是很緩慢的，但是，在相對濕度比較大，特別是在有顆粒物存在時，可發生催化氧化反應，從而加快生成SO3。
SO2*＋O2→SO3＋〔O〕
SO3＋H2O→H2SO4
而SO2在干燥空氣中，其含量達800ppm時，人還可以忍受。但在三氧化硫與水結合可形成硫酸氣溶膠后，其含量僅0.8ppm人即不可忍受。
當SO3溶于水時放出大量的熱，使水蒸發成為蒸汽態，而三氧化硫本身熔點16.8度和沸點44.8度很低，因此它也會蒸發為氣態，并與空中的水蒸氣反應生成硫酸小液滴，也就是酸霧。酸霧的腐蝕性比SO2更嚴重，如果酸霧進入到系統設備中，如電磁閥，連接接頭，測量池等，都會造成這些部件的腐蝕， 霧吸收器在CEMS系統中同時過濾其它粉塵結晶物，保證了抽氣泵等重要部件的*運行，延長部件的壽命。因此霧吸收器在CEMS系統中起的一個非常重要的作用，整個CEMS系統的*穩定運行都是離不開它
