產品特點：
MF 176系列-測量顯微鏡
MF-A/MF-UA測量顯微鏡具有可擴展性,如與三豐Vision Unit一起使用可提高其性能,或者可在PC中進行數據管理,從而確保提高效率.
特點：
?可觀察清晰無閃爍正像且視場開闊
?測量精度在同類設備中高
（符合JISB7153標準）
?使用ML系列，專門為MF系列設計的高-NA物鏡
MF 176系列-測量顯微鏡
MF-A/MF-UA測量顯微鏡具有可擴展性,如與三豐Vision Unit一起使用可提高其性能,或者可在PC中進行數據管理,從而確保提高效率.
特點：
l 可觀察清晰無閃爍正像且視場開闊
l 測量精度在同類設備中高
（符合JISB7153標準）
l 使用ML系列，專門為MF系列設計的高-NA物鏡（長工作距離型）
可選XY 工作臺類型
1010C: 100 x 100mm 
2010C: 200 x 10
2017C: 200 x 170mm 
4020C: 400 x 200mm
性能參數
型號（XY工作臺尺寸） | 1010C | 2010C | 2017C | 3017C | 4020C | |
貨號 | MF-A | 176-662* | 176-663* | 176-664* | 176-665* | 176-666* |
MF-B | 176-682* | 176-683* | 176-684* | 176-685* | 176-686* | |
XY工作臺行程范圍 | 100*100mm | 200*100mm | 200*170mm | 300*170mm | 400*200mm | |
Z軸移動范圍 | 150mm | 150mm | 220mm | 220mm | 220mm | |
調焦方式 | 手動調焦（粗調焦：30mm/rev.,微調焦：0.2mm/rev.) | |||||
測量方法 | 線性編碼器（2軸型：X/Y軸，3軸型：X/Y/Z軸） | |||||
分辯率（可轉換） | 0.001mm/0.0005mm/0.001mm | |||||
測量精度（20℃時） | XY軸：（2.5+0.02L)um ，L為無負載測量長度（mm），JISB7153 | |||||
指示精度（20℃時） | Z軸：（5+0.04L)um,L為測量長度（mm） | |||||
浮動功能 | 帶有快速釋放功能的X和Y軸 | |||||
XY工作臺臺面尺寸 | 280*280mm | 350*280mm | 410*342mm | 510*342mm | 610*342mm | |
載物玻璃有效尺寸 | 180*180mm | 250*150mm | 270*240mm | 370*240mm | 440*240mm | |
旋轉功能 | — | — | ±5°(左） | ±5°（左) | ±3°(左） | |
臺面大承重 | 10kg | 20kg | 20kg | 20kg | 15kg | |
大工件高度 | 150mm | 150mm | 220mm | 220mm | 22 | |
