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離子減薄制樣技術屬于離子束加工的范疇。其方法是用高能離子束轟擊樣品表面、高能離子與樣品表面原子發生彈性碰撞、樣品表面原子能量增大至高于該原子的逸出功時，便飛離樣品，這樣就使樣品表面不斷失去原子——減薄。通常都是用雙槍從樣品兩側轟擊。樣品隨著支架旋轉，使離子束轟擊均勻。離子束的強度呈鐘形分布，中心強。后在樣品中心出現穿孔。在孔的周圍有一圈楔形薄區可在透射電子顯微鏡中觀察。正文編輯區域參考資料編輯區域詳情>>

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