Z軸壓電納米平移臺是一款小尺寸高速壓電掃描臺，掃描范圍10μm×10μm，亞納米分辨率，無負載自振頻率高達1200Hz。結構緊湊，適用于掃描顯微/原子力顯微，以及空間受限，且需要做高頻掃描的應用。
u Z軸壓電納米平移臺 主要應用
磁頭和磁盤驅動測試、計量學、干涉度量學、原子力顯微鏡等
u 主要特點
亞納米的分辨率
高的帶寬
高速響應
高的可靠性
結構緊湊
壓電陶瓷驅動
柔性鉸鏈設計
電容位移傳感器閉環反饋
技術參數：
| 型號 | 3715263 |
| 尺寸(mm) | 40 x 40 x 30 |
| zui大負載(kg) | 0.5 |
| zui大推力(N) | 100 / 10 |
| 自重(g) | 180 |
| 運動軸 | X|Y |
| 閉環行程(µm) | 10|10 |
| 開環行程(µm) | 15|15 |
| 噪聲值(nm) | 0.2|0.2 |
| 3715263 | |
| 剛度(N/µ) | 18.0|18.0 |
| 共振頻率(Hz) | 1200|1200 |
| 穩態時間(ms) | 5|5 |
| 線性度(%) | 0.01|0.01 |
| 電容量(µF) | 0.5|0.5 |
| 集成傳感器 | 納米精度電容位移傳感器 |
| 電纜長度（m) | 2 |
| 控制器 | LC.402 |
| 材質 | Invar |
上海納動納米位移技術有限公司（簡稱“納動納米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河涇新興技術開發區，是一家專業集精密機械、精密驅動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學等各領域的技術于一體的*，專注于超精密納米級定位及運動控制技術與產品的開發，并致力于創新開發壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設備提供系統的技術解決方案，滿足于國內外市場對超精密納米級定位及運動控制技術需求的專業研發制造商。 上海納動納米位移技術有限公司本著“創新，立足，精益打造納米定位與運動控制中國制造的品牌“的目標，力求*國內技術空白，打破國外對中國的技術壁壘和國外產品壟斷中國市場的局面，為中國智能裝備產業和科研領域提供*運動和測控解決方案提供關鍵技術和打造堅實基礎。
