一維（X軸）壓電平移臺采用壓電陶瓷直推，以柔性鉸鏈為導(dǎo)向使其具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、無機(jī)械摩擦、定位分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，采用硅位移傳感器，相比于傳統(tǒng)的電容式位移傳感器，硅傳感器使平移臺擁有更高的精度和線性度以及較低的底噪。精度可以達(dá)到亞納米，底噪低至10pm。
一維（X軸）壓電平移臺選型：
產(chǎn)品型號 | ESLP50-1 | ESLP100-1 | ESLP150-1 |
行程 | 50 | 100 | 150 |
zui大推力（N） | 16 | ||
zui大速度（mm/s） | 200 | ||
zui小步長（nm） | 50 | ||
光柵分辨率（um） | 0.5(1um和50nm)光柵可選 | ||
重復(fù)定位精度（um） | <2um | ||
zui大負(fù)載（kg） | 3.5 | 4.5 | 5 |
結(jié)構(gòu)材質(zhì) | 鋁合金/不銹鋼 | ||
u 產(chǎn)品特點(diǎn)
l 高分辨率（0.01nm）
l 大行程1500mm
l 高速度，自振頻率可達(dá)7000Hz
l 采用硅傳感技術(shù)
l 超低底噪
l 柔性鉸鏈導(dǎo)向
u 主要應(yīng)用
l 納米刻蝕
l 干涉測量
l 高速聚焦
l 自適應(yīng)光學(xué)
l 超分辨顯微鏡
l 粒子追蹤
上海納動納米位移技術(shù)有限公司（簡稱“納動納米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河涇新興技術(shù)開發(fā)區(qū)，是一家專業(yè)集精密機(jī)械、精密驅(qū)動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學(xué)等各領(lǐng)域的技術(shù)于一體的*，專注于超精密納米級定位及運(yùn)動控制技術(shù)與產(chǎn)品的開發(fā)，并致力于創(chuàng)新開發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設(shè)備提供系統(tǒng)的技術(shù)解決方案，滿足于國內(nèi)外市場對超精密納米級定位及運(yùn)動控制技術(shù)需求的專業(yè)研發(fā)制造商。 上海納動納米位移技術(shù)有限公司本著“創(chuàng)新，立足，精益打造納米定位與運(yùn)動控制中國制造的品牌“的目標(biāo)，力求*國內(nèi)技術(shù)空白，打破國外對中國的技術(shù)壁壘和國外產(chǎn)品壟斷中國市場的局面，為中國智能裝備產(chǎn)業(yè)和科研領(lǐng)域提供*運(yùn)動和測控解決方案提供關(guān)鍵技術(shù)和打造堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。
