XYZ壓電納米定位臺是采用封裝型壓電促動器直接驅動,具有大承載、響應速度快、可靠性高和使用壽命長等優點。內置高分辨率SGS傳感器進行全閉環運動控制,高諧振頻率和大拉力使得該系列納米定位臺適用于精密加工等領域。
XYZ壓電納米定位臺應用
光電對準
光電封裝
納米加工
光學測量
納米自動化
產品特性
1.采用高性能的壓電陶瓷驅動;
2.具有開環和閉環兩種規格型號;
??3.采用數控、線切割等加工工藝,嚴格保證構結精度;
4.采用計算機有限元仿真分析等現代設計方法設計微動結構;
5.采用*的表面處理工藝,提高了適應不同工作環境的能力。
技術參數:
軸向: 3
行程: 9-400 μm
分辨率: 0.02-0.8 nm
共振頻率: 140-2200Hz
推力: 9-1800N
拉力: 1-180N
應用實例:
AFM顯微鏡,激光校準,低溫操作應用,微型加工技術,半導體,掃描應用
上海納動納米位移技術有限公司(簡稱“納動納米”、“NanoMotions”),坐落于上海漕河涇新興技術開發區,是一家專業集精密機械、精密驅動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學等各領域的技術于一體的*,專注于超精密納米級定位及運動控制技術與產品的開發,并致力于創新開發壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設備提供系統的技術解決方案,滿足于國內外市場對超精密納米級定位及運動控制技術需求的專業研發制造商。
上海納動納米位移技術有限貴公司自主研發的產品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動器、納米級精密定位臺/掃描臺、壓電納米定位平移臺/升降臺/偏擺臺/旋轉臺、納米級光束偏轉鏡、納米級顯微掃描平臺、納米級物鏡聚焦/掃描器、納米級紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達/電機、壓電螺旋促動器、壓電點膠閥、壓電機床微進給平臺、六軸并聯微位移定位系統、高精度位移傳感器、壓電陶瓷驅動/控制器、高精度微位移測量系統等系列產品。