X軸壓電平移臺行程80m初的設計是為了滿足超快速度和超精密的應用。納米定位工作臺采用壓電陶瓷直推驅動,以柔性鉸鏈為運動副,使其結構緊湊、擁有小的體積、無摩擦、無間隙、定位分辨率高等優點。
u X軸壓電平移臺行程80m主要特點
- 亞納米的分辨率
- 高的帶寬
- 高速響應
- 高的可靠性
- 結構緊湊
- 壓電陶瓷驅動
- 柔性鉸鏈設計
- 電容位移傳感器閉環反饋
u 主要應用
l 納米刻蝕
l 干涉測量
l 高速聚焦
l 自適應光學
l 超分辨顯微鏡
l 粒子追蹤
選型:
產品型號 | ESLP50-1 | ESLP100-1 | ESLP150-1 |
行程 | 50 | 100 | 150 |
zui大推力(N) | 16 | ||
zui大速度(mm/s) | 200 | ||
zui小步長(nm) | 50 | ||
光柵分辨率(um) | 0.5(1um和50nm)光柵可選 | ||
重復定位精度(um) | <2um | ||
zui大負載(kg) | 3.5 | 4.5 | 5 |
結構材質 | 鋁合金/不銹鋼 |
上海納動納米位移技術有限公司(簡稱“納動納米”、“NanoMotions”),坐落于上海漕河涇新興技術開發區,是一家專業集精密機械、精密驅動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學等各領域的技術于一體的*,專注于超精密納米級定位及運動控制技術與產品的開發,并致力于創新開發壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設備提供系統的技術解決方案,滿足于國內外市場對超精密納米級定位及運動控制技術需求的專業研發制造商。 上海納動納米位移技術有限公司本著“創新,立足,精益打造納米定位與運動控制中國制造的品牌“的目標,力求*國內技術空白,打破國外對中國的技術壁壘和國外產品壟斷中國市場的局面,為中國智能裝備產業和科研領域提供*運動和測控解決方案提供關鍵技術和打造堅實基礎。