美國keyhigh PEV-1壓電閥(PEV-1 PIEZOELECTRIC GAS LEAK VALVE)是為了適用真空系統的高精度氣體流量控制閥門,主要應用領域包括:磁控濺射鍍膜,光學鍍膜,ITO鍍膜,等離子體刻蝕等。可與國產自動壓強控制儀配套使用,來實現閉環控制,達到穩定壓強的目的,性價比高。
1、控制模式:開環控制和閉環控制
2、易于集成:可與國產自動壓強控制儀配套使用,來實現閉環控制,達到穩定壓強的目的,性價比高,同時亦可選擇進口壓強控制儀
3、響應時間快
4、性能穩定,壓電陶瓷片壽命長
6、無機械連接件,無伺服馬達,無磨損,在斷電的情況下可實現自動關閉的特點
PEV-1壓電閥技術參數:
閥門類型:壓電晶體
可控制的氣體:兼容各種材料
流量范圍:0?500 SCCM
漏率:<1x10E-9 scc/sec(1ATM HE ON INLET)
響應時間:2微秒
大進氣壓力:50 PSI
驅動要求:電壓:0-100VDC,電流:<10μA
操作溫度范圍:+10°C 到 +60°C
材料:316不繡剛,氟橡膠,特富龍,陶瓷片
進氣和出氣連接:1/4"Swagelok Fittings
電氣連接:標準BNC
重量:800克