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INFICON MPS 殘余氣體分析儀 氦質譜檢漏儀

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  • 更新時間2023-06-12
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INFICON MPS 殘余氣體分析儀 氦質譜檢漏儀 產品詳情

功能

  • 雙絲極
  • 可現場更換電子倍增器
  • 可現場更換陽極、陰極和反射極絲極組件
  • 可調換傳感器和電子元件
  • TCP/IP 以太網連接
  • 較短的傳感器可降低安裝占地面積
  • 九個數量級的動態量程
  • 模擬掃描和所選峰值的 3 ms 每點數據率
  • <1.5E-14 Torr 的 MDPP
  • 傳感器在潔凈室環境中裝配、測試并進行雙層包裝
  • 符合 RoHS 標準

規格

類型MPS100FMPS100MMPS200FMPS200M
傳感器長度14.3 cm 19.3 cm 14.3 cm 19.3 cm
質量范圍100 amu 100 amu 200 amu 200 amu
檢測器類型FC EM FC EM
靈敏度 (FC)3E-4 amps/Torr 3E-4 amps/Torr 3E-4 amps/Torr 3E-4 amps/Torr
靈敏度 (EM)NA 500 amps/Torr NA 500 amps/Torr
最小可檢測分壓2.6E-12 Torr 1.5E-14 Torr 2.6E-12 Torr 1.5E-14 Torr
傳感器工作溫度(FC)200 °C NA 200 °C NA
傳感器工作溫度(EM)NA 150 °C NA 150 °C
絲極類型選件Dual Y2O3/Ir filaments Dual Y2O3/Ir filaments Dual Y2O3/Ir filaments Dual Y2O3/Ir filaments
分辨率 (1)<1 amu Wide <1 amu Wide <1 amu Wide <1 amu Wide
溫度系數 (2)<1% per °C <1% per °C <1% per °C <1% per °C
每點數據率3 ms 3 ms 3 ms 3 ms
零沖擊(位于質量 2)<100 ppm <100 ppm <100 ppm <100 ppm
工作壓力5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr
烘烤溫度300 °C 300 °C 300 °C 300 °C
功率輸入20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC

(1) 位于峰值高度的 10%

(2) 時長 8 小時,半小時預熱時間;僅適用于 FC 模式

INFICON MPS 殘余氣體分析儀     
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