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EVG805-薄晶圓解鍵合系統

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時間2024-06-18
  • 廠商性質其他
  • 所在地區上海
  • 實名認證已認證
  • 產品數量100
  • 人氣值626
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EVG805-薄晶圓解鍵合系統 產品詳情

EVG鍵合機EVG805應用:薄晶圓解鍵合

一、簡介

EVG805是半自動系統晶圓鍵合機,用于剝離臨時鍵合和加工過的晶圓疊層,該疊層由器件晶圓,載體晶圓和中間臨時鍵合膠組成。該工具支持熱剝離或機械剝離。可以將薄晶圓卸載到單個基板載體上,以在工具之間安全可靠地運輸。

二、EVG鍵合機特征


  • 開放式膠粘劑平臺


  • 解鍵合選項:


  • 熱滑解鍵合


  • 解鍵合


  • 機械解鍵合


  • 程序控制系統


  • 實時監控和記錄所有相關過程參數


  • 薄晶圓處理的功能


  • 多種卡盤設計,可支撐300 mm的晶圓/基板和載體


  • 高形貌的晶圓處理

三、EVG鍵合機技術數據


  • 晶圓直徑(基板尺寸):晶片300 mm、高達12英寸的薄膜


  • 組態:1個解鍵合模塊

四、選件


  • 紫外線輔助解鍵合


  • 高形貌的晶圓處理


  • 不同基板尺寸的橋接能力


關鍵詞:控制系統
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