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EVG810 LT 低溫鍵合 等離子活化系統(tǒng)2

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  • 型號(hào)
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  • 所在地區(qū)上海
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量100
  • 人氣值807
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??岱美有限公司成立于1989年,是數(shù)據(jù)存儲(chǔ),半導(dǎo)體,光學(xué),光伏和航空航天行業(yè)制造商和創(chuàng)新研發(fā)機(jī)構(gòu)的*設(shè)備分銷商。??在21世紀(jì)初期,岱美已從我們?cè)谥袊?guó)香港的總部擴(kuò)展到亞洲,以滿足客戶的多樣化需求。在當(dāng)今化的市場(chǎng)中,我們的客戶包括連接?xùn)|南亞各國(guó)的綜合供應(yīng)鏈,我們的專業(yè)人員隨時(shí)準(zhǔn)備與他們會(huì)面。??我們的總部設(shè)在中國(guó)香港,在中國(guó)大陸地區(qū)(北京和上海,以及廣東東莞)擁有強(qiáng)大的業(yè)務(wù)。我們還在馬來(lái)西亞,新加坡,中國(guó)臺(tái)灣地區(qū),菲律賓和泰國(guó)等東南亞國(guó) 家和地區(qū)設(shè)有分支機(jī)構(gòu)。岱美擁有訓(xùn)練有素的工程師,能夠?yàn)楦鞯貐^(qū)用戶提供快捷、可靠的技術(shù)支持和維修服務(wù);為確保他們的專業(yè)知識(shí)得以更新及并適應(yīng)新的要求,岱美定期委派工程師前往海外接受專項(xiàng)技術(shù)訓(xùn)練,務(wù)求為顧客提供更高質(zhì)素的售后服務(wù)及技術(shù)支持。我們的分支機(jī)構(gòu)都已建立數(shù)十年,我們的許多客戶對(duì)我們與他們建立的長(zhǎng)達(dá)數(shù)十年的合作關(guān)系感到滿意。??我們的目標(biāo)是建立持久的關(guān)系,滿足東南亞企業(yè)快速增長(zhǎng)的需求。對(duì)于我們的客戶,我們不僅提供設(shè)備,還提供建議和技術(shù)指導(dǎo),以及時(shí)了解我們不斷發(fā)展的行業(yè)的發(fā)展。對(duì)于我們的供應(yīng)商,我們提供了深入的銷售網(wǎng)絡(luò)和數(shù)十年的東南亞復(fù)雜商業(yè)環(huán)境導(dǎo)航經(jīng)驗(yàn)。我們將本地客戶與來(lái)自歐洲,美國(guó),日本和韓國(guó)的*設(shè)備與技術(shù)連接起來(lái)。岱美合作客戶??岱美在中國(guó)大陸地區(qū)主要銷售或提供技術(shù)支持的產(chǎn)品:??晶圓鍵合機(jī)、納米壓印設(shè)備、紫外光刻機(jī)、涂膠顯影機(jī)、硅片清洗機(jī)、超薄晶圓處理設(shè)備、光學(xué)三維輪廓儀、硅穿孔TSV量測(cè)、非接觸式光學(xué)三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x、薄膜厚度檢測(cè)儀、主動(dòng)及被動(dòng)式防震臺(tái)系統(tǒng)、應(yīng)力檢測(cè)儀、電容式位移傳感器等。??如有需要,請(qǐng)聯(lián)系我們,了解我們?nèi)绾伍_(kāi)始與您之間的合作,實(shí)現(xiàn)您的企業(yè)或者組織機(jī)構(gòu)長(zhǎng)期發(fā)展的目標(biāo)。注:在大陸地區(qū)注冊(cè)的公司名稱為:岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司,并有東莞分公司和北京辦事處。
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應(yīng)用:用于SOI,MEMS,化合物半導(dǎo)體和高級(jí)襯底鍵合的低溫鍵合等離子體活化系統(tǒng)一、簡(jiǎn)介EVG810LT(LowTemp™)低溫鍵合等離子活化系統(tǒng)是一個(gè)單獨(dú)的單腔室系統(tǒng),具有手動(dòng)操作功能
EVG810 LT 低溫鍵合 等離子活化系統(tǒng)2 產(chǎn)品詳情

應(yīng)用:用于SOI,MEMS,化合物半導(dǎo)體和高級(jí)襯底鍵合的低溫鍵合等離子體活化系統(tǒng)

一、簡(jiǎn)介

EVG810 LT (LowTemp™)低溫鍵合等離子活化系統(tǒng)是一個(gè)單獨(dú)的單腔室系統(tǒng),具有手動(dòng)操作功能。 處理室允許非原位處理(晶片一個(gè)接一個(gè)地活化并且鍵合在等離子體活化室外部)。

二、特征

用于低溫鍵合的表面等離子體活化(熔合/分子和中間層鍵合)

任何晶圓鍵合機(jī)制的zui快動(dòng)力學(xué)

無(wú)需濕法工藝

低溫退火時(shí)的zui高鍵合強(qiáng)度(zui高400°C)

適用于SOI,MEMS,化合物半導(dǎo)體和封裝

高度的材料兼容性(包括CMOS)

三、參數(shù)

1.晶圓尺寸:50-200mm,100-300mm

2.低溫等離子活化腔:

工藝氣體:2種標(biāo)準(zhǔn)工藝氣體(N2和O2)

通用大流量控制器:自校準(zhǔn)(高達(dá)20.000 sccm)

真空系統(tǒng):0.09 mbar

打開(kāi)/關(guān)閉腔室:自動(dòng)化

裝載/卸載腔室:手動(dòng)(晶圓/基板放置在裝載銷上)

3.備選功能:

用于不同的晶圓尺寸的夾頭

金屬離子活化

帶有氣體混合的附加工藝氣體

帶渦輪泵的高真空系統(tǒng):0.009 mbar的基礎(chǔ)氣壓

4.符合LowTemp™等離子活化鍵合的材料系統(tǒng)

Si:Si / Si,Si / Si(熱氧化,Si(熱氧化)/ Si(熱氧化)

TEOS / TEOS(熱氧化)

絕緣體鍺(GeOI)的Si / Ge

硅/Si3N4

玻璃(無(wú)堿浮法):硅/玻璃,玻璃/玻璃

化合物半導(dǎo)體:GaAs,GaP,InP

聚合物:PMMA,環(huán)烯烴聚合物

用戶可以針對(duì)上述內(nèi)容和其他材料使用“已知方法”配方(可根據(jù)要求提供完整列表)


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