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ICP干法等離子刻蝕機

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  • 型號
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  • 所在地上海
  • 更新時間2024-07-03
  • 廠商性質生產廠家
  • 入駐年限1
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  • 產品數量25
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沛沅儀器是一家集等離子體技術設計、制造、產品開發、銷售與服務于一體的技術型企業,公司致力于提供專業的等離子表面處理系統,向用戶提供國內*的等離子表面處理設備和優質專業的服務。

公司技術團隊67%以上具備碩士或碩士以上學位,公司由*從事等離子體應用技術研究開發、多次參與國家重大科學工程研究的專家和產業化專家聯合創建,提供一系列等離子體表面處理系統、等離子體刻蝕系統、常壓等離子清洗設備等,并與中科院上海應用物理研究所,復旦大學,中國科技大學,上海科技大學,上海交通大學等建立了密切的技術合作交流關系。

 

公司的愿景是成為等離子體應用領域的優質供應企業,用科研的沉淀和應用的創新,為中國的制造業崛起和化戰略貢獻一份力量。

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PLUTO-WIN是面向科研及企業研發客戶使用需求設計的高性價比ICP等離子體系統。作為一個多功能系統,它通過優化的系統設計與靈活的配置方案,獲得高性能ICP刻蝕工藝。該設備結構緊湊占地面積小,專業的機械設計與優化的自動化操作軟件使該設備操作簡便、安全,且工藝穩定重復性很好。
ICP干法等離子刻蝕機 產品詳情
產品特點

4/6/8英寸兼容,單片晶圓真空傳輸系統

低成本高可靠,適合研發及小規模生產

● 設備結構簡單,外形小

● 操作簡便、便于自動控制、適合大面積基片刻蝕

● 優異的刻蝕均勻性,刻蝕速率快

滿足半導體標準的配方驅動及管理軟件控制系統

● 選擇比高、各向異性高、刻蝕損傷小

● 斷面輪廓可控性高,刻蝕表面平整光滑


技術參數

晶圓尺寸:4/6/8英寸兼容

適用工藝:等離子體刻蝕

適用材料:SiC、Si、GaN、GaAs、InP、Ploy,etc.


應用領域

適用領域:化合物半導體,MEMS、功率器件、科研等領域


應用.png


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